| 提要 | 第1-9页 |
| 第一章 前言 | 第9-20页 |
| ·传感器的地位 | 第9页 |
| ·气体传感器的作用 | 第9-10页 |
| ·气体传感器的种类 | 第10-11页 |
| ·半导体气体传感器 | 第10页 |
| ·固体电解质气体传感器 | 第10页 |
| ·接触燃烧式气体传感器 | 第10-11页 |
| ·高分子气体传感器 | 第11页 |
| ·气体传感器应具有的基本条件 | 第11页 |
| ·金属氧化物半导体气体传感器的发展 | 第11-18页 |
| ·二氧化锡气体传感器 | 第18-19页 |
| ·本文的研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 SnO_2气体传感器的结构、生产工艺与测试装置 | 第20-28页 |
| ·SnO_2气体传感器的结构 | 第20-21页 |
| ·SnO_2气体传感器外形图 | 第20页 |
| ·SnO_2气体传感器管脚功能 | 第20-21页 |
| ·SnO_2气体传感器的生产工艺 | 第21-23页 |
| ·SnO_2气体传感器的生产工艺 | 第21-22页 |
| ·旁热式SnO_2气体传感器的生产工艺 | 第22-23页 |
| ·SnO_2气体传感器的技术指标 | 第23-25页 |
| ·SnO_2气体传感器主要技术指标 | 第23-25页 |
| ·测试条件与选取参数 | 第25-26页 |
| ·测试条件 | 第25页 |
| ·测试选取参数 | 第25-26页 |
| ·SnO_2气体传感器的测试装置 | 第26-28页 |
| ·SnO_2气体传感器的测试原理 | 第26页 |
| ·测试装置原理框图 | 第26-27页 |
| ·基本构成 | 第27页 |
| ·工作原理 | 第27-28页 |
| 第三章:SnO_2甲烷气体传感器优化设计实验研究 | 第28-45页 |
| ·SnO_2原料特性实验与结果分析 | 第28-33页 |
| ·选择SnO_2原料的原则 | 第28-29页 |
| ·实验方案 | 第29-30页 |
| ·实验数据 | 第30-31页 |
| ·实验结果分析 | 第31-33页 |
| ·结构助剂影响实验与结果分析 | 第33-38页 |
| ·实验目的 | 第33页 |
| ·实验方案 | 第33-34页 |
| ·实验数据 | 第34-35页 |
| ·实验结果分析 | 第35-38页 |
| ·氧化锑Sb_2O_3降阻影响实验与结果分析 | 第38-41页 |
| ·实验目的 | 第38页 |
| ·实验方案 | 第38-39页 |
| ·实验数据 | 第39-40页 |
| ·实验结果分析 | 第40-41页 |
| ·烧结温度影响实验与结果分析 | 第41-43页 |
| ·实验目的 | 第41页 |
| ·实验方案 | 第41-42页 |
| ·实验数据 | 第42-43页 |
| ·实试验结果分析 | 第43页 |
| ·SnO_2甲烷气体传感器优化试验总结 | 第43-45页 |
| 第四章 SnO_2甲烷气体传感器的试制 | 第45-57页 |
| ·试制的目的 | 第45页 |
| ·试制实施方案 | 第45-47页 |
| ·SnO_2气体传感器的原料配方 | 第45页 |
| ·工艺条件 | 第45页 |
| ·元件参数 | 第45-46页 |
| ·工作条件 | 第46页 |
| ·测试条件 | 第46页 |
| ·测试参数 | 第46页 |
| ·传感器选取的方法与数目 | 第46-47页 |
| ·实验数据 | 第47-52页 |
| ·直接测量数据 | 第47-49页 |
| ·间接测量数据 | 第49-52页 |
| ·实验数据分析 | 第52-53页 |
| ·固有电阻R_0 | 第52-53页 |
| ·甲烷(典型值5000ppm)灵敏度K | 第53页 |
| ·氢气(典型值3000ppm)灵敏度K | 第53页 |
| ·乙醇(典型值500ppm)灵敏度K | 第53页 |
| ·实验结果 | 第53-57页 |
| ·固有电阻 | 第53-55页 |
| ·甲烷灵敏度 | 第55-56页 |
| ·选择性 | 第56-57页 |
| 第五章 结束语 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 摘要 | 第62-65页 |
| Abstract | 第65-67页 |