溶胶—凝胶法制备3英寸YBa2Cu3O7-x薄膜的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·高温超导材料及其应用 | 第8-9页 |
| ·YBCO薄膜结构和性能的关系 | 第9-12页 |
| ·YBCO薄膜的结构 | 第9-10页 |
| ·YBCO薄膜的性能 | 第10-12页 |
| ·YBCO薄膜的制备工艺简介 | 第12-15页 |
| ·概述 | 第12页 |
| ·YBCO薄膜的异位沉积工艺 | 第12-14页 |
| ·基片的选择 | 第14-15页 |
| ·大面积YBCO超导薄膜的研究现状 | 第15-18页 |
| ·多元共蒸发法(Co-Evaporation) | 第16页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第16页 |
| ·溅射法 | 第16-17页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第17页 |
| ·小结 | 第17-18页 |
| ·本课题的目的和意义 | 第18-20页 |
| 2 研究方法及实验设备 | 第20-30页 |
| ·研究思路及研究方案设计 | 第20-21页 |
| ·研究思路 | 第20页 |
| ·研究方案 | 第20-21页 |
| ·实验过程 | 第21-25页 |
| ·低氟溶胶性能的改善 | 第21-22页 |
| ·合适的前驱物化学计量比的确定 | 第22-24页 |
| ·有效热处理温度的确定 | 第24-25页 |
| ·3英寸YBCO薄膜的制备 | 第25页 |
| ·实验仪器设备 | 第25-29页 |
| ·薄膜制备设备 | 第25-26页 |
| ·薄膜性能的表征仪器 | 第26-29页 |
| ·实验所用化学试剂 | 第29-30页 |
| 3 影响YBCO薄膜微观结构和性能的因素探讨 | 第30-44页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·不同的前驱物化学计量比对YBCO薄膜性能的影响 | 第30-33页 |
| ·YBCO薄膜的微观结构分析 | 第31页 |
| ·YBCO薄膜的表面形貌分析 | 第31-32页 |
| ·YBCO薄膜的超导电性分析 | 第32-33页 |
| ·不同的热处理工艺对YBCO薄膜性能的影响 | 第33-39页 |
| ·不同的预处理温度对YBCO薄膜性能的影响 | 第33-36页 |
| ·不同的终处理温度对YBCO薄膜性能的影响 | 第36-39页 |
| ·膜厚对YBCO薄膜微观形貌的影响 | 第39-42页 |
| ·YBCO厚膜的制备 | 第39-40页 |
| ·薄膜微观形貌随厚度的变化 | 第40-42页 |
| ·小结 | 第42-44页 |
| 4 3英寸YBCO薄膜的制备及其均匀性分析 | 第44-52页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·制备过程 | 第44-45页 |
| ·结果分析与讨论 | 第45-50页 |
| ·薄膜表面质量及粗糙度分析 | 第45-47页 |
| ·薄膜生长取向和微观形貌分析 | 第47-48页 |
| ·膜厚均匀性分析 | 第48页 |
| ·薄膜超导性能均匀性分析 | 第48-50页 |
| ·小结 | 第50-52页 |
| 5 结论 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 作者在硕士期间撰写和发表的论文 | 第62页 |
