| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 前言 | 第7-17页 |
| ·钛酸锶钡(Ba_xSr_(1-x)TiO_3)薄膜材料的研究及应用现状 | 第8-10页 |
| ·钛酸锶钡(BST)厚膜制备研究现状 | 第10-14页 |
| ·Sol-gel法的原理 | 第11页 |
| ·Sol-gel法制备BST厚膜制备的研究进展 | 第11-14页 |
| ·钛酸锶钡(BST)薄膜图形化技术研究现状 | 第14-16页 |
| ·课题主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 实验方案及实验条件 | 第17-31页 |
| ·高浓度感光性溶胶的合成 | 第18-20页 |
| ·BST薄膜热处理工艺研究 | 第20-22页 |
| ·PVP对薄膜厚度、开裂抑制及图形化工艺的影响规律研究 | 第22-24页 |
| ·BST图形化薄膜的制备及性能研究 | 第24-28页 |
| ·电学性能测试样品的制备 | 第24-25页 |
| ·薄膜的介电性能测试原理 | 第25-27页 |
| ·薄膜的铁电性能测试原理 | 第27-28页 |
| ·实验条件及测试仪器 | 第28-31页 |
| ·实验条件 | 第28-29页 |
| ·测试仪器 | 第29-31页 |
| 3 感光性BST溶胶的合成 | 第31-41页 |
| ·溶胶体系的选择 | 第31-34页 |
| ·溶剂的选择 | 第33-34页 |
| ·化学修饰剂的选择 | 第34页 |
| ·引入开裂抑制剂PVP的溶胶稳定性评价 | 第34页 |
| ·BST感光性溶胶的配制 | 第34-39页 |
| ·常规的BST溶胶的合成路线 | 第35页 |
| ·改进的BST溶胶的合成路线 | 第35-37页 |
| ·溶胶的感光性分析 | 第37-39页 |
| ·小结 | 第39-41页 |
| 4 BST薄膜热处理工艺的选择 | 第41-53页 |
| ·热处理温度的选择 | 第41-44页 |
| ·热处理方式的选择 | 第44-50页 |
| ·连续热处理方式 | 第45-46页 |
| ·阶段性热处理方式 | 第46-47页 |
| ·微波处理方式 | 第47-50页 |
| ·单次制备的BST薄膜的结构及组织评价 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 5 PVP对薄膜开裂、厚度及图形制备工艺的影响 | 第53-61页 |
| ·PVP的加入量对薄膜开裂现象的影响 | 第53-54页 |
| ·PVP的加入量对薄膜厚度的影响 | 第54-57页 |
| ·PVP对薄膜图形制备的影响 | 第57-60页 |
| ·PVP对薄膜图形感光工艺的影响 | 第57-59页 |
| ·PVP对薄膜图形溶洗工艺的影响 | 第59-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 6 BST薄膜图形的性能表征 | 第61-69页 |
| ·BST薄膜图形的结构表征 | 第61-63页 |
| ·BST薄膜图形的电学性能测试 | 第63-67页 |
| ·多次制备的BST薄膜的电学性能 | 第63页 |
| ·单次制备BST薄膜的电学性能 | 第63-65页 |
| ·BST薄膜图形的电学性能 | 第65-67页 |
| ·小结 | 第67-69页 |
| 7 结论 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 附录 | 第77页 |