| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 致谢 | 第8-11页 |
| 插图清单 | 第11-12页 |
| 表格清单 | 第12-13页 |
| 第一章 引言 | 第13-19页 |
| ·课题背景 | 第13-17页 |
| ·X射线单晶密度法测定阿伏加德罗常数（单晶硅粒子法） | 第13-15页 |
| ·移动线圈功率天平测量普朗克常数（电学方法） | 第15-16页 |
| ·晶粒子收集法 | 第16-17页 |
| ·研究目的 | 第17-18页 |
| ·研究的意义 | 第18-19页 |
| 第二章 测量原理 | 第19-27页 |
| ·各种激光干涉仪的测量原理介绍 | 第19-25页 |
| ·单频激光干涉仪 | 第19-20页 |
| ·外差激光干涉仪 | 第20-21页 |
| ·多光束干涉仪 | 第21-22页 |
| ·法布里-珀罗干涉仪 | 第22-24页 |
| ·光反馈激光开关干涉仪 | 第24页 |
| ·光纤干涉仪 | 第24-25页 |
| ·集成光学干涉仪 | 第25页 |
| ·激光干涉仪的发展历史及现状 | 第25-27页 |
| 第三章 激光干涉测量系统的设计 | 第27-48页 |
| ·系统的总体构成 | 第27-28页 |
| ·激光干涉测量系统的光路设计 | 第28-35页 |
| ·干涉光路的设计思想 | 第28页 |
| ·干涉测量光路的设计 | 第28-29页 |
| ·光路分析 | 第29-31页 |
| ·干涉光路光学器件的选取 | 第31-33页 |
| ·实验光路的调试 | 第33-35页 |
| ·激光干涉测量系统机械机构的设计及光路的固定 | 第35-37页 |
| ·机械结构的设计思想 | 第35页 |
| ·机械零件的组成 | 第35-36页 |
| ·光学原件的胶合和整个光路的固定 | 第36-37页 |
| ·最终的光路布局 | 第37页 |
| ·激光干涉测量系统的电路设计 | 第37-44页 |
| ·前置放大电路 | 第38-40页 |
| ·信号预放大和调理单元 | 第40-44页 |
| ·A/D 转换 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 系统性能测试及结果分析 | 第48-59页 |
| ·噪声测试及分辨率 | 第48-51页 |
| ·日光灯引起的噪声 | 第48-49页 |
| ·激光器功率不稳引起的噪声 | 第49页 |
| ·温度漂移测试 | 第49-51页 |
| ·动态测试 | 第51-52页 |
| ·误差分析 | 第52-56页 |
| ·干涉测量信号的三差分析及补偿 | 第52-54页 |
| ·激光干涉测量系统的误差分析 | 第54-56页 |
| ·实验比对 | 第56-59页 |
| 第五章 总结和展望 | 第59-62页 |
| ·实现目标 | 第59-60页 |
| ·优缺点 | 第60页 |
| ·优点 | 第60页 |
| ·缺点 | 第60页 |
| ·展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第65-66页 |