| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-23页 |
| ·镁及镁合金 | 第8-9页 |
| ·镁合金的分类 | 第8页 |
| ·镁合金的应用 | 第8-9页 |
| ·镁合金的腐蚀 | 第9-15页 |
| ·腐蚀热力学 | 第10页 |
| ·腐蚀动力学 | 第10-11页 |
| ·镁合金的腐蚀类型 | 第11页 |
| ·腐蚀影响因素 | 第11-15页 |
| ·镁合金表面防护 | 第15-19页 |
| ·化学转化 | 第15-16页 |
| ·阳极氧化 | 第16-17页 |
| ·微弧氧化 | 第17页 |
| ·电镀和化学镀 | 第17-18页 |
| ·气相沉积 | 第18-19页 |
| ·氮化硅薄膜 | 第19页 |
| ·研究现状 | 第19-22页 |
| ·金属表面PVD 膜层的研究 | 第19-21页 |
| ·金属表面CVD 膜层的研究 | 第21-22页 |
| ·实验目的及意义 | 第22-23页 |
| 2 溅射镀膜原理 | 第23-30页 |
| ·溅射机理及特点 | 第23-24页 |
| ·基本溅射类型 | 第24-26页 |
| ·直流溅射 | 第24页 |
| ·射频溅射 | 第24-25页 |
| ·反应溅射 | 第25-26页 |
| ·磁控溅射 | 第26页 |
| ·薄膜生长过程及结构 | 第26-30页 |
| 3 实验 | 第30-34页 |
| ·实验设备及材料 | 第30页 |
| ·薄膜制备 | 第30-31页 |
| ·薄膜性能检测 | 第31-34页 |
| ·试样耐腐蚀性检测 | 第31-32页 |
| ·氮化硅薄膜性能检测 | 第32-34页 |
| 4 氮化硅薄膜的制备及性能研究 | 第34-43页 |
| ·薄膜厚度对保护膜耐腐蚀性的影响 | 第34-35页 |
| ·N_2 气流量对保护膜耐腐蚀性的影响 | 第35-37页 |
| ·溅射功率对保护膜耐腐蚀性的影响 | 第37页 |
| ·氮化硅薄膜的成分及结构分析 | 第37-40页 |
| ·氮化硅薄膜的显微硬度 | 第40页 |
| ·镀氮化硅保护膜样品的腐蚀过程 | 第40-43页 |
| ·镁合金腐蚀防护原理 | 第40-41页 |
| ·镀保护膜镁合金腐蚀过程 | 第41-43页 |
| 5 （Al、Zr、Ti）-SiNX 复合膜保护性研究 | 第43-54页 |
| ·薄膜的力学性质及复合膜设计 | 第43-44页 |
| ·薄膜的表面形貌分析 | 第44-47页 |
| ·镀金属Al、Zr、Ti 膜样品的耐腐蚀性 | 第47-49页 |
| ·镀复合膜样品的耐腐蚀性 | 第49-51页 |
| ·膜基附着力 | 第51-54页 |
| 6 结论 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 附录 | 第59页 |