利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第一章 绪论	第8-18页
·引言	第8-9页
·电弧离子镀	第9-13页
·电弧离子镀的原理	第9-12页
·电弧离子镀的特点	第12-13页
·电弧离子镀存在的问题及解决现状	第13-16页
·论文工作的内容与意义	第16-18页
第二章 探针原理	第18-32页
·静电探针介绍	第18-21页
·探针发展简史	第18页
·探针技术的特点与发展方向	第18-19页
·静电探针理论	第19-21页
·朗谬尔单探针诊断原理	第21-27页
·插入等离子体内的悬浮金属丝	第21-23页
·朗谬尔单探针工作原理	第23-25页
·有单探针Ⅰ-Ⅴ特性曲线获取等离子体参数的步骤	第25-27页
·基于虚拟仪器的朗谬尔双探针介绍	第27-32页
·朗谬尔双探针实验原理	第27-28页
·基于虚拟仪器的朗谬尔探针诊断方法	第28-31页
·离散傅立叶变换平滑方法的原理	第31-32页
第三章 实验设备与方法	第32-34页
第四章 诊断实验与结果	第34-44页
·采样率对数据波动的影响	第34-35页
·傅利叶变换平滑测量曲线结果	第35-36页
·靶电流变化测量结果	第36-38页
·不同气体及气压对等离子体参数的影响	第38-39页
·探针位置变化对等离子体参数的影响	第39-44页
结论	第44-45页
参考文献	第45-48页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第48-49页
致谢	第49-50页