| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·相位检测技术及相移器 | 第8-11页 |
| ·相位检测技术简介 | 第8页 |
| ·相移器简介 | 第8-11页 |
| ·电子散斑干涉测量技术简介 | 第11-13页 |
| ·本文研究内容及论文结构 | 第13-14页 |
| 第二章 相移相位检测技术 | 第14-25页 |
| ·相移相位检测技术的基本原理 | 第14-17页 |
| ·求解相位变化的两种基本方法 | 第17-19页 |
| ·相位相减法 | 第17页 |
| ·相关条纹法 | 第17-19页 |
| ·电子错位散斑干涉技术的基本原理 | 第19-24页 |
| ·电子错位散斑干涉的基本原理 | 第19-23页 |
| ·错位装置 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 精密相移系统设计依据 | 第25-35页 |
| ·微位移机构 | 第25-26页 |
| ·压电陶瓷的特性 | 第26-29页 |
| ·精密相移系统的PID控制原理 | 第29-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 精密相移系统的设计及实验系统的搭构 | 第35-48页 |
| ·相移机构设计 | 第35-39页 |
| ·相移机构设计原理 | 第35页 |
| ·相移机构组件的选择及结构设计 | 第35-39页 |
| ·基于LabVIEW语言的精密相移系统PID控制系统设计 | 第39-42页 |
| ·LabVIEW语言简介 | 第39页 |
| ·基于LabVIEW语言的PID控制系统设计 | 第39-42页 |
| ·PID控制器的参数整定 | 第42-44页 |
| ·精密相移系统评价 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 精密相移系统在电子错位散斑检测技术中的应用 | 第48-55页 |
| ·电子错位-相移散斑无损检测系统的基本光路及系统组成 | 第48-52页 |
| ·实验结果及分析 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·全文总结 | 第55页 |
| ·对今后工作的展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
