激光位移传感器及输出特性的研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 1 引言 | 第10-14页 |
| ·研究意义 | 第10页 |
| ·激光三角位移传感器国内外研究状况及发展动态 | 第10-12页 |
| ·本论文的主要内容 | 第12-14页 |
| 2 基于四象限探测器的激光位移传感器研究 | 第14-37页 |
| ·概述 | 第14页 |
| ·三角法的基本原理 | 第14-17页 |
| ·直射式 | 第14-16页 |
| ·斜射式 | 第16-17页 |
| ·传感器设计 | 第17-30页 |
| ·光路设计 | 第17-22页 |
| ·关键元件的参数 | 第22-26页 |
| ·电路设计 | 第26-29页 |
| ·机械设计 | 第29-30页 |
| ·实验与分析 | 第30-37页 |
| ·标定实验 | 第30-33页 |
| ·振动测试实验 | 第33-35页 |
| ·误差分析 | 第35-37页 |
| 3 基于线阵CDD的激光位移传感器研究 | 第37-43页 |
| ·概述 | 第37页 |
| ·传感器设计 | 第37-39页 |
| ·光路设计 | 第37页 |
| ·关键元件的参数 | 第37-38页 |
| ·电路设计 | 第38-39页 |
| ·实验与分析 | 第39-43页 |
| ·实验方案 | 第39-41页 |
| ·结果与分析 | 第41-43页 |
| 4 传感器的输出特性研究 | 第43-54页 |
| ·概述 | 第43页 |
| ·输出特性实验 | 第43-50页 |
| ·实验方案 | 第43-46页 |
| ·实验结果 | 第46-50页 |
| ·分析 | 第50-54页 |
| 5 总结与展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 附录A 基于四象限探测器的激光位移传感器实验数据 | 第57-60页 |
| 附录B 基于线阵CCD的激光位移传感器测试数据 | 第60-69页 |
| 附录C 米依传感器测试数据 | 第69-74页 |
| 作者简历 | 第74-76页 |
| 学位论文数据集 | 第76页 |
