| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第一章 绪言 | 第12-30页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·透明导电薄膜 | 第13-14页 |
| ·ZnO薄膜的晶体结构、性质及应用 | 第14-20页 |
| ·ZnO第一性原理计算及进展 | 第20-21页 |
| ·ZnO薄膜溶胶—凝胶制备 | 第21-27页 |
| ·金属离子掺杂ZnO薄膜 | 第27-28页 |
| ·选题的意义及目的 | 第28-29页 |
| ·研究内容 | 第29-30页 |
| 第二章 理论计算方法 | 第30-36页 |
| ·第一性原理 | 第30-31页 |
| ·CASTEP软件简介 | 第31-34页 |
| ·CASTEP软件的主要功能 | 第32页 |
| ·CASTEP软件的主要理论 | 第32-34页 |
| ·小结 | 第34-36页 |
| 第三章 金属离子掺杂ZnO的电导性计算 | 第36-84页 |
| ·ZnO掺杂的电导原理 | 第36-41页 |
| ·ZnO的能带结构 | 第38-40页 |
| ·杂质对电导率的影响 | 第40-41页 |
| ·三价金属离子掺杂对ZnO的电导性影响 | 第41-55页 |
| ·本征ZnO的结构、能带及态密度分析 | 第41-44页 |
| ·Al离子掺杂ZnO的电导性影响 | 第44-49页 |
| ·不同含量的Al离子掺杂ZnO的电导性影响 | 第49-50页 |
| ·Al、Ga及In离子掺杂ZnO的电导性影响 | 第50-53页 |
| ·Y离子掺杂Zn0的电导性影响 | 第53-55页 |
| ·ⅠB金属离子掺杂对ZnO的电导性影响 | 第55-63页 |
| ·Ag离子掺杂的第一性原理计算 | 第55-61页 |
| ·Cu离子掺杂ZnO的电导性影响 | 第61-63页 |
| ·Ⅰ一价主族金属离子掺杂对ZnO的电导性影响 | 第63-71页 |
| ·Li离子掺杂ZnO的电导性影响 | 第64-66页 |
| ·Na离子掺杂ZnO的电导性影响 | 第66-69页 |
| ·K离子掺杂ZnO的电导性影响 | 第69-70页 |
| ·小结 | 第70-71页 |
| ·Ag-Al离子共掺对ZnO的电导性影响 | 第71-74页 |
| ·Ag离子单掺ZnO的电导性影响 | 第71页 |
| ·不同掺杂量的Ag-Al离子共掺ZnO的电导性影响 | 第71-74页 |
| ·其他金属离子掺杂对ZnO的电导性影响 | 第74-81页 |
| ·不同掺杂量Mn离子对ZnO的能隙影响 | 第74-76页 |
| ·不同掺杂量Cd离子对ZnO的能隙影响 | 第76-79页 |
| ·五价金属离子Nb掺杂对ZnO的电导性影响 | 第79-81页 |
| ·金属离子掺杂ZnO的能带关系 | 第81-82页 |
| ·不同金属离子掺杂浓度不同与能隙的关系 | 第81页 |
| ·同一浓度不同金属离子掺杂对杂质能级的影响 | 第81-82页 |
| ·小结 | 第82-84页 |
| ·结论 | 第82-83页 |
| ·存在的问题 | 第83-84页 |
| 第四章 溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜试验 | 第84-92页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的特点 | 第84-85页 |
| ·溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的原理 | 第85-87页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的基本原理 | 第85页 |
| ·ZnO薄膜的形成原理 | 第85-87页 |
| ·实验原料及仪器设备 | 第87-88页 |
| ·实验原料 | 第87页 |
| ·实验器材及设备 | 第87-88页 |
| ·分析测试仪器 | 第88页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第88-92页 |
| ·ZnO薄膜的制备工艺流程 | 第88-89页 |
| ·溶胶的配制 | 第89页 |
| ·基板的选择与清洗 | 第89-90页 |
| ·浸渍提拉法镀膜 | 第90页 |
| ·旋转涂敷法镀膜 | 第90-91页 |
| ·薄膜干燥、烧结及退火处理 | 第91-92页 |
| 第五章 各种因素对ZnO薄膜性能的影响分析 | 第92-129页 |
| ·掺杂离子及浓度对薄膜性能的影响 | 第92-103页 |
| ·掺杂离子及浓度对薄膜表面形貌的影响 | 第92-97页 |
| ·掺杂离子及浓度对薄膜结构的影响 | 第97-99页 |
| ·掺杂离子及浓度对薄膜导电性的影响 | 第99-101页 |
| ·掺杂离子及浓度对薄膜透射光谱的影响 | 第101-103页 |
| ·热处理温度及退火温度对薄膜性能的影响 | 第103-110页 |
| ·热处理温度对薄膜结构的影响 | 第103-104页 |
| ·退火温度对薄膜表面形貌的影响 | 第104-107页 |
| ·退火温度对薄膜结构的影响 | 第107-108页 |
| ·退火温度对薄膜导电性的影响 | 第108-110页 |
| ·退火温度对薄膜透光性的影响 | 第110页 |
| ·镀膜层数对薄膜性能的影响 | 第110-111页 |
| ·镀膜层数对薄膜导电性的影响 | 第110-111页 |
| ·镀膜层数对薄膜透光性的影响 | 第111页 |
| ·其它因素对薄膜性能的影响 | 第111-112页 |
| ·浸渍提拉法和旋涂法对薄膜表面形貌的影响 | 第111-112页 |
| ·ZnO薄膜的工艺参数优化 | 第112-116页 |
| ·参数优化 | 第112-114页 |
| ·优化结果验证 | 第114-116页 |
| ·Ag-Al共掺杂ZnO薄膜的制备初探 | 第116-124页 |
| ·溶胶-凝胶胶体的制备 | 第116-117页 |
| ·薄膜形貌分析 | 第117-120页 |
| ·薄膜的结构分析 | 第120-122页 |
| ·薄膜吸光度及电导的分析 | 第122-124页 |
| ·小结 | 第124页 |
| ·ZnO:Al薄膜表面形貌与导电性的关系研究 | 第124-129页 |
| ·薄膜的电学性能分析 | 第124页 |
| ·薄膜的形貌分析 | 第124-127页 |
| ·薄膜XRD分析 | 第127-128页 |
| ·小结 | 第128-129页 |
| 第六章 结论 | 第129-132页 |
| ·结论 | 第129-131页 |
| ·存在的问题及以后的研究方向 | 第131-132页 |
| 致谢 | 第132-133页 |
| 参考文献 | 第133-147页 |
| 发表论文 | 第147页 |