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氮化硅粉喷涂工艺对多晶硅铸锭粘埚及边部红区宽度的影响

摘要第3-4页
abstract第4页
第1章 绪论第7-30页
    1.1 多晶硅光伏技术与产业背景第7-17页
        1.1.1 多晶硅光伏技术第9-15页
        1.1.2 多晶硅光伏产业背景第15-17页
    1.2 多晶坩埚的制备第17-19页
        1.2.1 注凝成型第17-18页
        1.2.2 注浆成型第18-19页
    1.3 多晶硅铸锭坩埚内壁涂层技术及其存在的问题第19-25页
        1.3.1 多晶硅铸锭坩埚内壁涂层技术第21-22页
        1.3.2 多晶硅铸锭涂层存在的问题第22-25页
    1.4 多晶硅锭中少子寿命的影响因素第25-28页
        1.4.1 少子寿命检测设备第25-26页
        1.4.2 红边宽度的影响因素第26-28页
    1.5 本课题研究目的和内容第28-30页
第2章 氮化硅喷涂溶液配比及厚度对粘埚和红边宽度的影响第30-56页
    2.1 引言第30页
    2.2 实验过程与方法第30-41页
        2.2.0 氮化硅粉喷涂溶液的配比实验第30-38页
        2.2.1 氮化硅粉重量实验第38-39页
        2.2.2 实验过程第39-41页
    2.3 结果与讨论第41-55页
        2.3.1 实验硅锭出锭状态对比分析第41-49页
        2.3.2 实验锭检测扫描数据分析第49-55页
    2.4 小结第55-56页
第3章 结论与展望第56-59页
    3.1 研究结论与成果第56-57页
        3.1.1 研究结论第56页
        3.1.2 应用成果第56-57页
    3.2 展望第57-59页
致谢第59-60页
参考文献第60页

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