| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 超材料概述 | 第11-16页 |
| 1.2 超表面 | 第16-19页 |
| 1.3 全介质超材料与超表面 | 第19-21页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容及创新点 | 第21-23页 |
| 2 谐振型全介质超表面的理论基础 | 第23-40页 |
| 2.1 介质颗粒的米氏谐振 | 第23-27页 |
| 2.2 微纳结构中的法诺谐振 | 第27-32页 |
| 2.3 FDTD模拟仿真 | 第32-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 3 硅基介质超表面的制备与测试表征 | 第40-58页 |
| 3.1 制备工艺流程 | 第40-43页 |
| 3.2 电子束曝光 | 第43-50页 |
| 3.3 硅基ICP干法刻蚀 | 第50-51页 |
| 3.4 器件表征与测试 | 第51-57页 |
| 3.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 4 高品质因子柱型全介质超表面的设计 | 第58-70页 |
| 4.1 引言 | 第58-59页 |
| 4.2 基于同心圆盘-圆环结构的高品质因子全介质超表面 | 第59-65页 |
| 4.3 基于非对称微盘结构的高品质因子全介质超表面 | 第65-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 5 非对称孔型高品质因子全介质超表面 | 第70-97页 |
| 5.1 非对称孔型介质超表面无源器件 | 第70-78页 |
| 5.2 量子点嵌入式非对称孔型介质超表面 | 第78-96页 |
| 5.3 本章小结 | 第96-97页 |
| 6 总结和展望 | 第97-99页 |
| 致谢 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-113页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第113页 |