基于SU-8微结构的光电探测器及微环器件研究
| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 集成光子器件的发展现状 | 第11-14页 |
| 1.2 SU-8聚合物波导的发展 | 第14-15页 |
| 1.3 本文的主要内容及创新点 | 第15-17页 |
| 1.3.1 本文主要内容 | 第15-16页 |
| 1.3.2 本文创新点 | 第16-17页 |
| 2 光波导理论分析 | 第17-31页 |
| 2.1 光波导基本理论及数值方法 | 第17页 |
| 2.2 波导方程 | 第17-31页 |
| 2.2.1 麦克斯韦方程 | 第18-20页 |
| 2.2.2 平板波导特性分析 | 第20-24页 |
| 2.2.3 条形波导特性分析 | 第24-31页 |
| 3 基于SU-8微结构的角度探测器 | 第31-51页 |
| 3.1 基本工艺及设备介绍 | 第31-36页 |
| 3.1.1 薄膜制备 | 第31-32页 |
| 3.1.2 曝光 | 第32-34页 |
| 3.1.3 刻蚀 | 第34-35页 |
| 3.1.4 溅射和蒸镀 | 第35-36页 |
| 3.2 MSM光电探测器原理 | 第36-37页 |
| 3.3 基于SU-8微结构的角度探测器 | 第37-48页 |
| 3.3.1 基本原理及参数 | 第37-40页 |
| 3.3.2 器件制作过程 | 第40-43页 |
| 3.3.3 测量系统与测量方法 | 第43页 |
| 3.3.4 测试结果 | 第43-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-51页 |
| 4 两微米波段的SU-8波导及MRR器件 | 第51-63页 |
| 4.1 MRR基本介绍 | 第51-53页 |
| 4.1.1 环形谐振腔原理 | 第51页 |
| 4.1.2 微环谐振腔的基本参数 | 第51-53页 |
| 4.2 两微米波段的SU-8光波导研究 | 第53-61页 |
| 4.2.1 背景 | 第53页 |
| 4.2.2 结构设计 | 第53-55页 |
| 4.2.3 制备过程 | 第55-57页 |
| 4.2.4 测试结果 | 第57-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-63页 |
| 5 总结与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-73页 |
| 作者简介 | 第73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及专利 | 第73页 |
