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基于SU-8微结构的光电探测器及微环器件研究

致谢第4-6页
摘要第6-7页
ABSTRACT第7-8页
1 绪论第11-17页
    1.1 集成光子器件的发展现状第11-14页
    1.2 SU-8聚合物波导的发展第14-15页
    1.3 本文的主要内容及创新点第15-17页
        1.3.1 本文主要内容第15-16页
        1.3.2 本文创新点第16-17页
2 光波导理论分析第17-31页
    2.1 光波导基本理论及数值方法第17页
    2.2 波导方程第17-31页
        2.2.1 麦克斯韦方程第18-20页
        2.2.2 平板波导特性分析第20-24页
        2.2.3 条形波导特性分析第24-31页
3 基于SU-8微结构的角度探测器第31-51页
    3.1 基本工艺及设备介绍第31-36页
        3.1.1 薄膜制备第31-32页
        3.1.2 曝光第32-34页
        3.1.3 刻蚀第34-35页
        3.1.4 溅射和蒸镀第35-36页
    3.2 MSM光电探测器原理第36-37页
    3.3 基于SU-8微结构的角度探测器第37-48页
        3.3.1 基本原理及参数第37-40页
        3.3.2 器件制作过程第40-43页
        3.3.3 测量系统与测量方法第43页
        3.3.4 测试结果第43-48页
    3.4 本章小结第48-51页
4 两微米波段的SU-8波导及MRR器件第51-63页
    4.1 MRR基本介绍第51-53页
        4.1.1 环形谐振腔原理第51页
        4.1.2 微环谐振腔的基本参数第51-53页
    4.2 两微米波段的SU-8光波导研究第53-61页
        4.2.1 背景第53页
        4.2.2 结构设计第53-55页
        4.2.3 制备过程第55-57页
        4.2.4 测试结果第57-61页
    4.3 本章小结第61-63页
5 总结与展望第63-65页
参考文献第65-73页
作者简介第73页
攻读硕士学位期间发表的论文及专利第73页

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