| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-33页 |
| 1.1 曲面狭缝间接触压力监测问题 | 第13-16页 |
| 1.1.1 极端环境中压力传感技术的研究背景 | 第13-14页 |
| 1.1.2 曲面狭缝间接触压力测量关键问题及研究意义 | 第14-16页 |
| 1.2 接触压力传感技术的研究现状 | 第16-24页 |
| 1.2.1 压力传感器的工作机理研究 | 第16-21页 |
| 1.2.2 传感信息的访问模式研究 | 第21-24页 |
| 1.3 声表面波传感技术研究现状 | 第24-30页 |
| 1.3.1 SAW无源无线传感技术概述 | 第24-26页 |
| 1.3.2 SAW压力传感系统研究现状 | 第26-30页 |
| 1.4 主要研究内容及论文结构 | 第30-33页 |
| 1.4.1 主要研究内容 | 第30-31页 |
| 1.4.2 论文结构 | 第31-33页 |
| 第二章 曲面狭缝间接触压力信号获取方法研究 | 第33-61页 |
| 2.1 曲面狭缝间应力分布规律和电磁耦合特性研究 | 第33-39页 |
| 2.1.1 应力分布规律 | 第33-36页 |
| 2.1.2 电磁耦合特性 | 第36-39页 |
| 2.2 基于SAW器件的力敏元件工作机理 | 第39-51页 |
| 2.2.1 SAW器件的工作原理 | 第40-45页 |
| 2.2.2 圆膜片式多层薄膜力敏元件基本结构 | 第45-48页 |
| 2.2.3 关键尺寸参数对应力应变分布的影响 | 第48-51页 |
| 2.3 应变式力敏元件工作机理 | 第51-60页 |
| 2.3.1 应变计的工作原理 | 第52-53页 |
| 2.3.2 基于多层薄膜封装的应变式力敏元件基本结构 | 第53-54页 |
| 2.3.3 力敏元件灵敏度的影响因素研究 | 第54-60页 |
| 2.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第三章 用于曲面狭缝测力的SAW谐振器设计与制作 | 第61-82页 |
| 3.1 SAW谐振器的耦合模(COM)分析模型 | 第61-65页 |
| 3.1.1 均匀IDT的COM方程 | 第62-63页 |
| 3.1.2 IDT的P矩阵形式 | 第63-65页 |
| 3.2 谐振器性能的影响因素研究 | 第65-71页 |
| 3.2.1 SAW谐振器的关键参数 | 第65-68页 |
| 3.2.2 尺寸参数下的COM模型仿真 | 第68-71页 |
| 3.3 声表面波谐振器的加工与测试 | 第71-81页 |
| 3.3.1 声表面波谐振器的关键加工工艺 | 第73-76页 |
| 3.3.2 SAW谐振器的表面形貌观察 | 第76-78页 |
| 3.3.3 电学性能测试 | 第78-81页 |
| 3.4 本章小结 | 第81-82页 |
| 第四章 SAW传感器的力敏元件封装与系统测试 | 第82-111页 |
| 4.1 圆膜片式多层柔性薄膜封装方法研究 | 第82-87页 |
| 4.1.1 SAW器件封装关键问题 | 第82-85页 |
| 4.1.2 曲面狭缝间力敏结构的封装 | 第85-87页 |
| 4.2 SAW传感器的无线信号传输单元设计 | 第87-98页 |
| 4.2.1 SAW器件的无线访问技术方案 | 第87-89页 |
| 4.2.2 狭缝间微带传输线的设计 | 第89-95页 |
| 4.2.3 微带天线的设计 | 第95-98页 |
| 4.3 模拟狭缝环境接触压力测试实验与结果分析 | 第98-109页 |
| 4.3.1 SAW接触压力测量系统 | 第99-100页 |
| 4.3.2 传感系统的有线测试 | 第100-106页 |
| 4.3.3 传感系统的无线测试 | 第106-108页 |
| 4.3.4 讨论与分析 | 第108-109页 |
| 4.4 本章小结 | 第109-111页 |
| 第五章 应变式接触压力无线测量技术研究 | 第111-128页 |
| 5.1 应变式接触压力传感技术方案 | 第111-115页 |
| 5.1.1 基于多层薄膜结构的应变式力敏元件封装 | 第111-114页 |
| 5.1.2 无线访问机理 | 第114-115页 |
| 5.2 无线测量系统中的关键环节 | 第115-122页 |
| 5.2.1 关键环节分析 | 第115-117页 |
| 5.2.2 误差来源分析 | 第117-119页 |
| 5.2.3 硬件电路的实现 | 第119-122页 |
| 5.3 应变式接触压力传感器的测试实验 | 第122-127页 |
| 5.3.1 测试系统的搭建 | 第122-124页 |
| 5.3.2 加卸载性能测试 | 第124-127页 |
| 5.4 本章小结 | 第127-128页 |
| 第六章 总结与展望 | 第128-131页 |
| 6.1 全文总结 | 第128-129页 |
| 6.2 主要创新点 | 第129-130页 |
| 6.3 工作展望 | 第130-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 参考文献 | 第132-143页 |
| 附录 | 第143-146页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第146页 |