低温磁化螺旋波等离子体探针诊断
| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 低温磁化等离子体研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 磁化螺旋波等离子体放电 | 第11-13页 |
| 1.3 等离子体与材料的相互作用 | 第13-16页 |
| 1.4 等离子体诊断概述 | 第16-18页 |
| 1.5 主要研究工作 | 第18-19页 |
| 参考文献 | 第19-23页 |
| 第二章 实验诊断方法 | 第23-36页 |
| 2.1 螺旋波实验装置简介 | 第23-25页 |
| 2.2 朗缪尔探针诊断 | 第25-28页 |
| 2.2.1 朗缪尔单探针原理 | 第25-28页 |
| 2.2.2 探针的使用条件及优缺点 | 第28页 |
| 2.3 质量、能量分析仪(EQP) | 第28-29页 |
| 2.4 发射探针诊断 | 第29-31页 |
| 2.5 磁探针诊断 | 第31-34页 |
| 参考文献 | 第34-36页 |
| 第三章 螺旋波等离子体的朗缪尔探针及质谱诊断研究 | 第36-44页 |
| 3.1 射频功率及磁场对等离子体参数的影响 | 第36-39页 |
| 3.2 电子能量分布特性 | 第39-41页 |
| 3.3 离子能量分布特性 | 第41-43页 |
| 参考文献 | 第43-44页 |
| 第四章 发射探针的研制及初步诊断 | 第44-60页 |
| 4.1 研究思路 | 第44-45页 |
| 4.2 探针的结构 | 第45-47页 |
| 4.3 实验方法 | 第47-55页 |
| 4.3.1 滤波电路的仿真设计 | 第47-51页 |
| 4.3.2 电路仿真 | 第51-53页 |
| 4.3.3 探针数据采集 | 第53页 |
| 4.3.4 系统控制 | 第53-55页 |
| 4.4 实验结果 | 第55-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 第五章 磁探针的研制 | 第60-66页 |
| 5.1 主要研究思路 | 第60页 |
| 5.2 磁探针的结构 | 第60-61页 |
| 5.3 实验设计 | 第61-63页 |
| 5.4 数据处理 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 结论 | 第66-67页 |
| 6.2 研究不足及展望 | 第67-68页 |
| 附录 | 第68-70页 |
| 攻读硕士期间公开发表的论文及科研成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
