| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·本文选题背景及其研究意义 | 第9-10页 |
| ·国内外主要切削温度测量技术及发展趋势 | 第10-16页 |
| ·自然热电偶法 | 第10-11页 |
| ·人工热电偶法 | 第11-12页 |
| ·远红外辐射测温法 | 第12-13页 |
| ·薄膜热电偶测温方法 | 第13-16页 |
| ·溅射薄膜沉积技术简介 | 第16-19页 |
| ·射频溅射法 | 第16-17页 |
| ·空阴极放电离子镀 | 第17页 |
| ·多弧离子镀 | 第17-18页 |
| ·微波ECR等离子体源增强溅射 | 第18页 |
| ·直流脉冲磁控溅射 | 第18-19页 |
| ·本文研究的主要内容及组织结构 | 第19-20页 |
| 第二章 多层复合薄膜热电偶切削刀具传感器的研制 | 第20-40页 |
| ·硬质合金测温刀头结构设计与制作 | 第20-22页 |
| ·二氧化硅绝缘膜的溅射沉积 | 第22-31页 |
| ·直流脉冲电源工作原理及特点 | 第23-24页 |
| ·直流脉冲磁控溅射系统及技术特点 | 第24-26页 |
| ·二氧化硅薄膜的制备 | 第26-27页 |
| ·二氧化硅薄膜电性能分析 | 第27-28页 |
| ·二氧化硅膜附着力测试 | 第28-29页 |
| ·二氧化硅薄膜膜厚测试 | 第29-30页 |
| ·二氧化硅薄膜表面形貌和XPS分析 | 第30-31页 |
| ·NiCr/NiSi薄膜热电偶的制作 | 第31-38页 |
| ·热电偶的工作原理 | 第31-33页 |
| ·薄膜热电偶制作的要求 | 第33-34页 |
| ·薄膜热电偶的制作 | 第34-38页 |
| ·Si_3N_4切削涂层的制作 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 多层复合薄膜热电偶切削刀具传感器技术特性的研究 | 第40-57页 |
| ·薄膜热电偶的静态标定 | 第40-47页 |
| ·薄膜热电偶静态标定注意事项 | 第40-41页 |
| ·静态标定过程 | 第41页 |
| ·温度自动标定系统 | 第41-42页 |
| ·系统各部分介绍 | 第42-45页 |
| ·薄膜热电偶静态标定 | 第45-47页 |
| ·薄膜热电偶的动态标定 | 第47-51页 |
| ·薄膜热电偶常用的动态标定系统与方法 | 第47-49页 |
| ·采用激光器对薄膜热电偶进行动态标定的系统及方法 | 第49-50页 |
| ·不同热接点宽度下薄膜热电偶切削温度传感动态响应时间的测量 | 第50-51页 |
| ·不同采样频率下薄膜热电偶切削温度传感器动态响应时间的测量 | 第51页 |
| ·薄膜热电偶动态特性的理论分析 | 第51-56页 |
| ·误差分析 | 第56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 多层复合薄膜热电偶切削刀具传感器切削试验 | 第57-63页 |
| ·薄膜热电偶切削温度传感器的装配 | 第57-58页 |
| ·实验条件 | 第58-59页 |
| ·实验结果 | 第59-62页 |
| ·本章小节 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
