| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-14页 |
| 1.1.1 MEMS简介 | 第8-9页 |
| 1.1.2 MEMS加工工艺 | 第9-10页 |
| 1.1.3 牺牲层技术 | 第10-11页 |
| 1.1.4 MEMSCAD和工艺模拟 | 第11-13页 |
| 1.1.5 牺牲层结构腐蚀模拟技术的现状 | 第13-14页 |
| 1.2 论文的主要工作 | 第14页 |
| 1.3 论文纲要 | 第14-16页 |
| 第二章 牺牲层腐蚀的反应机理及影响腐蚀速率的因素 | 第16-26页 |
| 2.1 牺牲层腐蚀化学机理 | 第16-20页 |
| 2.1.1 硅烷醇结构的形成 | 第17-18页 |
| 2.1.2 HF与硅烷醇的反应 | 第18-20页 |
| 2.2 影响牺牲层腐蚀速率的因素 | 第20-25页 |
| 2.2.1 腐蚀液浓度 | 第20-21页 |
| 2.2.2 牺牲层材料 | 第21-23页 |
| 2.2.3 腐蚀温度 | 第23-24页 |
| 2.2.4 牺牲层结构 | 第24-25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 牺牲层腐蚀模型 | 第26-34页 |
| 3.1 牺牲层基本腐蚀模型 | 第26-28页 |
| 3.2 一维腐蚀模型及求解算法 | 第28-33页 |
| 3.2.1 扩散腐蚀模型 | 第28-29页 |
| 3.2.2 Deal-Grove（D-G）模型 | 第29-30页 |
| 3.2.3 一二阶联合模型 | 第30-31页 |
| 3.2.4 Freundlich吸附等温线模型 | 第31页 |
| 3.2.5 Lagmuir-Hinshelwood(L-H)模型 | 第31-32页 |
| 3.2.6 Power law模型 | 第32-33页 |
| 3.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 牺牲层二维腐蚀模型及其修正模型 | 第34-50页 |
| 4.1 二维极坐标腐蚀模型 | 第34-35页 |
| 4.2 平面二维直角坐标模型 | 第35-38页 |
| 4.3 二维腐蚀修正模型的建立 | 第38-42页 |
| 4.4 二维腐蚀模拟程序实现 | 第42-48页 |
| 4.4.1 二维扩散方程解法 | 第42-46页 |
| 4.4.2 求解算法的运用 | 第46-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 牺牲层腐蚀模拟实验验证 | 第50-60页 |
| 5.1 模拟参数设定 | 第50-51页 |
| 5.2 实验结果与模拟结果的对比 | 第51-58页 |
| 5.2.1 单开口腐蚀结构的验证 | 第51-53页 |
| 5.2.2 多开口腐蚀结构的验证 | 第53-54页 |
| 5.2.3 拐角腐蚀的验证 | 第54-56页 |
| 5.2.4 Bubble结构腐蚀的验证 | 第56页 |
| 5.2.5 悬臂梁结构的验证 | 第56-57页 |
| 5.2.6 十字形窗口的验证 | 第57-58页 |
| 5.3 讨论 | 第58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-64页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第60-61页 |
| 6.2 下一步的工作展望 | 第61-64页 |
| 6.2.1 对二维腐蚀模型的修正 | 第61页 |
| 6.2.2 采用Level Set算法 | 第61-62页 |
| 6.2.3 建立三维模型 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第68-69页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |