基于无衍射光莫尔条纹的四自由度运动误差测量方法
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 本文研究的背景、目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.3 本文国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.4 本文研究的内容 | 第14-16页 |
| 第2章 利用无衍射光测量多自由度运动误差 | 第16-23页 |
| 2.1 轴锥镜产生无衍射光 | 第16-19页 |
| 2.1.1 无衍射光莫尔条纹 | 第18-19页 |
| 2.2 多自由度运动误差系统 | 第19-20页 |
| 2.3 系统中运动误差的位置判断 | 第20-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 多自由度运动误差系统的矢量推导与验证 | 第23-44页 |
| 3.1 多自由度误差系统中运动误差模型 | 第23-27页 |
| 3.1.1 CCD1 中接收信号的运动误差模型 | 第24-26页 |
| 3.1.2 CCD2 中接收信号的运动误差模型 | 第26-27页 |
| 3.2 矢量公式中法向量的推导 | 第27-31页 |
| 3.2.1 法向量的变化规律 | 第28页 |
| 3.2.2 法向量的计算 | 第28-31页 |
| 3.3 矢量公式中关键点的推导 | 第31-35页 |
| 3.4 被测点C_0 与C_2 的坐标推导 | 第35-41页 |
| 3.4.1 C_0 点坐标的推导 | 第36-38页 |
| 3.4.2 C_2 点坐标的推导 | 第38-41页 |
| 3.5 汇总公式 | 第41-43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 基于莫尔条纹计数法的无衍射光中心光斑定位 | 第44-53页 |
| 4.1 两CCD接收的无衍射光特征 | 第44-45页 |
| 4.2 CCD1 中无衍射光的中心光斑确定 | 第45-48页 |
| 4.2.1 重心法 | 第46页 |
| 4.2.2 Hough变换法 | 第46-47页 |
| 4.2.3 圆拟合法 | 第47-48页 |
| 4.3 CCD2 中无衍射光的中心光斑确定 | 第48-52页 |
| 4.3.1 无衍射光莫尔条纹的数学模型 | 第48-49页 |
| 4.3.2 莫尔条纹数与中心距的关系 | 第49-51页 |
| 4.3.3 无衍射光莫尔条纹计数 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 仿真与实验 | 第53-61页 |
| 5.1 矢量公式仿真 | 第53-56页 |
| 5.1.1 仿真结果的分析 | 第54-56页 |
| 5.2 测量多自由度运动误差的实验 | 第56-60页 |
| 5.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 总结与展望 | 第61-63页 |
| 1 全文总结 | 第61-62页 |
| 2 全文展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间获得成果 | 第68-69页 |
| 附录2 课题实物图照片 | 第69页 |
