| 摘要 | 第6-9页 |
| ABSTRACT | 第9-13页 |
| 目录 | 第14-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-44页 |
| 1.1 选题背景 | 第18-19页 |
| 1.2 微机械谐振器的研究现状 | 第19-41页 |
| 1.2.1 基本特征 | 第20-21页 |
| 1.2.2 微机械谐振器的尺度效应研究 | 第21-24页 |
| 1.2.3 微机械谐振器的非线性动力学研究 | 第24-28页 |
| 1.2.4 微机械谐振器的能量耗散机理及控制方法 | 第28-32页 |
| 1.2.5 微机械谐振器的新型驱动力-光梯度力 | 第32-40页 |
| 1.2.6 动态特性测试与实验方法 | 第40-41页 |
| 1.3 本文的研究工作 | 第41-42页 |
| 1.3.1 研究目标、研究内容和拟解决的关键性问题 | 第41-42页 |
| 1.3.2 采取的研究方法和技术路线 | 第42页 |
| 1.4 本文的结构纲要 | 第42-44页 |
| 第二章 边界效应对微谐振器动力学特性的影响研究 | 第44-87页 |
| 2.1 引言 | 第44-45页 |
| 2.2 声子隧道能量耗散效应 | 第45-55页 |
| 2.2.1 分子质量探测器 | 第45-46页 |
| 2.2.2 碳纳米管横向振动的品质因子 | 第46-47页 |
| 2.2.3 动力学控制方程 | 第47-50页 |
| 2.2.4 结果与讨论 | 第50-55页 |
| 2.2.5 本节小结 | 第55页 |
| 2.3 柔性基体的等效机械刚度 | 第55-67页 |
| 2.3.1 法向等效刚度 | 第56-58页 |
| 2.3.2 切向等效刚度 | 第58-60页 |
| 2.3.3 法向弯曲等效刚度 | 第60-63页 |
| 2.3.4 分析与讨论 | 第63-66页 |
| 2.3.5 本节小结 | 第66-67页 |
| 2.4 边界效应下两端固支微梁谐振器的动力学特性 | 第67-78页 |
| 2.4.1 非线性动力学控制方程 | 第67-69页 |
| 2.4.2 固有频率与振型 | 第69-71页 |
| 2.4.3 幅频响应特性 | 第71-75页 |
| 2.4.4 分析与讨论 | 第75-78页 |
| 2.4.5 本节小结 | 第78页 |
| 2.5 边界效应下微悬臂梁谐振器的动力学特性 | 第78-86页 |
| 2.5.1 固有频率与振型 | 第78-83页 |
| 2.5.2 幅频响应特性 | 第83-85页 |
| 2.5.3 本节小结 | 第85-86页 |
| 2.6 本章小结 | 第86-87页 |
| 第三章 微加工误差对微梳齿谐振器调频及运动稳定性的影响 | 第87-114页 |
| 3.1 微梳齿谐振器 | 第87-89页 |
| 3.2 静电力分析 | 第89-93页 |
| 3.2.1 单边静电激励力 | 第89-92页 |
| 3.2.2 总静电激励力 | 第92-93页 |
| 3.3 空气阻尼分析 | 第93-97页 |
| 3.4 机械等效刚度 | 第97-100页 |
| 3.5 微梳齿谐振器的动力学控制方程及求解 | 第100-104页 |
| 3.6 结果与讨论 | 第104-112页 |
| 3.6.1 模型验证与对比 | 第105-106页 |
| 3.6.2 频率偏移分析 | 第106-108页 |
| 3.6.3 幅频响应特性 | 第108-109页 |
| 3.6.4 运动稳定性分析 | 第109-111页 |
| 3.6.5 关于空气压强的讨论 | 第111-112页 |
| 3.7 本章小结 | 第112-114页 |
| 第四章 微机械谐振器中热弹性阻尼的研究 | 第114-154页 |
| 4.1 引言及背景 | 第114-117页 |
| 4.1.1 热弹性阻尼 | 第114-115页 |
| 4.1.2 尺度效应 | 第115-116页 |
| 4.1.3 Cosserat 理论 | 第116-117页 |
| 4.2 尺度效应下微梁谐振器中热弹性阻尼的研究 | 第117-133页 |
| 4.2.1 欧拉-伯努利微梁的热弹性振动控制方程 | 第118-122页 |
| 4.2.2 热弹性方程求解 | 第122-124页 |
| 4.2.3 热弹性阻尼模拟与仿真 | 第124-133页 |
| 4.2.4 小结 | 第133页 |
| 4.3 尺度效应下微板谐振器中热弹性阻尼的研究 | 第133-153页 |
| 4.3.1 Kirchhoff 微板的热弹性振动控制方程 | 第134-139页 |
| 4.3.2 热弹性方程求解 | 第139-140页 |
| 4.3.3 热弹性阻尼模拟与仿真 | 第140-144页 |
| 4.3.4 结果与讨论 | 第144-152页 |
| 4.3.5 小结 | 第152-153页 |
| 4.4 本章小结 | 第153-154页 |
| 第五章 光梯度力驱动微纳谐振器的动力学特性研究 | 第154-185页 |
| 5.1 光梯度力的科学背景 | 第154-155页 |
| 5.2 光梯度力驱动微纳谐振器的谐振频率特性研究 | 第155-170页 |
| 5.2.1 非线性问题 | 第155-157页 |
| 5.2.2 正弦可调节光梯度力 | 第157-160页 |
| 5.2.3 空气阻尼 | 第160-161页 |
| 5.2.4 动力学控制方程与求解 | 第161-165页 |
| 5.2.5 结果与讨论 | 第165-170页 |
| 5.2.6 小结 | 第170页 |
| 5.3 光梯度力驱动微纳谐振器的热弹性阻尼研究 | 第170-183页 |
| 5.3.1 引言 | 第170-171页 |
| 5.3.2 光的热辐射效应 | 第171-172页 |
| 5.3.3 波导梁的热弹性振动控制方程 | 第172-174页 |
| 5.3.4 热弹性方程求解 | 第174-177页 |
| 5.3.5 结果与讨论 | 第177-183页 |
| 5.3.6 小结 | 第183页 |
| 5.4 本章小结 | 第183-185页 |
| 第六章 总结与展望 | 第185-190页 |
| 6.1 全文工作总结 | 第185-188页 |
| 6.2 本文的创新点 | 第188页 |
| 6.3 研究展望 | 第188-190页 |
| 参考文献 | 第190-208页 |
| 攻读博士学位期间已发表或录用的论文 | 第208-211页 |
| 攻读博士学位期间参与的科研项目 | 第211页 |
| 获得荣誉及奖励 | 第211-212页 |
| 致谢 | 第212-213页 |
