| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-28页 |
| 1.1 ITO薄膜的性能及应用 | 第13-14页 |
| 1.2 ITO靶材的制备方法 | 第14-20页 |
| 1.2.1 ITO压坯的制备方法 | 第14-18页 |
| 1.2.2 ITO靶材的烧结方法 | 第18-20页 |
| 1.3 ITO靶材市场需求与供应 | 第20-21页 |
| 1.4 ITO靶材制备的研究现状和发展趋势 | 第21-26页 |
| 1.4.1 ITO靶材制备的研究现状 | 第21-25页 |
| 1.4.2 ITO靶材的发展趋势 | 第25-26页 |
| 1.5 课题的研究目的、意义及主要内容 | 第26-27页 |
| 1.5.1 课题研究目的和意义 | 第26页 |
| 1.5.2 课题研究的主要内容 | 第26-27页 |
| 1.6 课题来源 | 第27页 |
| 1.7 本章小结 | 第27-28页 |
| 第二章 研究路线与方法 | 第28-37页 |
| 2.1 研究路线 | 第28页 |
| 2.2 实验原料及药品 | 第28-30页 |
| 2.2.1 实验原料 | 第28-29页 |
| 2.2.2 化学药品 | 第29-30页 |
| 2.3 主要实验设备及检测设备 | 第30-31页 |
| 2.3.1 主要实验设备 | 第30-31页 |
| 2.3.2 主要的检测设备 | 第31页 |
| 2.4 ITO靶材的制备过程 | 第31-34页 |
| 2.4.1 ITO浆料的制备 | 第32页 |
| 2.4.2 纳米ITO粉造粒 | 第32页 |
| 2.4.3 超声波辅助压制 | 第32-33页 |
| 2.4.4 ITO初坯低温脱脂 | 第33页 |
| 2.4.5 ITO初坯冷等静压成形 | 第33页 |
| 2.4.6 ITO靶材的气氛烧结 | 第33-34页 |
| 2.5 性能测试 | 第34-36页 |
| 2.5.1 密度测定 | 第34页 |
| 2.5.2 物相分析 | 第34页 |
| 2.5.3 形貌及元素组分分析 | 第34页 |
| 2.5.4 电阻率测试 | 第34-35页 |
| 2.5.5 纯度检测 | 第35页 |
| 2.5.6 正交实验极差分析法 | 第35-36页 |
| 2.6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 纳米ITO粉末的前处理 | 第37-47页 |
| 3.1 引言 | 第37-38页 |
| 3.2 实验结果与讨论 | 第38-46页 |
| 3.2.1 正交试验及极差法结果分析 | 第38-40页 |
| 3.2.2 正交试验ITO颗粒表面形貌 | 第40-42页 |
| 3.2.3 浆料固相含量对松装密度和流动性的影响 | 第42-43页 |
| 3.2.4 粘结剂含量对松装密度和流动性的影响 | 第43-44页 |
| 3.2.5 喷雾头转速对造粒粉末粒径和松装密度的影响 | 第44-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 ITO素坯的制备 | 第47-60页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 实验结果与讨论 | 第47-58页 |
| 4.2.1 压制力对ITO初坯致密度和显微结构的影响 | 第47-50页 |
| 4.2.2 保压时间对ITO初坯致密度的影响 | 第50-51页 |
| 4.2.3 超声波振动功率对ITO初坯致密度和微观结构的影响 | 第51-53页 |
| 4.2.4 超声波振动ITO初坯均匀性的影响 | 第53-54页 |
| 4.2.5 ITO初坯的脱脂试验研究 | 第54-56页 |
| 4.2.6 ITO初坯冷等静压成形试验研究 | 第56-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 烧结工艺对ITO靶材组织和性能研究 | 第60-72页 |
| 5.1 引言 | 第60-61页 |
| 5.2 实验与讨论 | 第61-70页 |
| 5.2.1 升温速率对ITO靶材性能的影响 | 第61-63页 |
| 5.2.2 烧结温度对ITO靶材性能的影响 | 第63-65页 |
| 5.2.3 烧结时间对ITO靶材性能的影响 | 第65-67页 |
| 5.2.4 气氛压力对ITO靶材性能的影响 | 第67-69页 |
| 5.2.5 最佳气氛烧结工艺制备ITO靶材的物相分析 | 第69-70页 |
| 5.3 本章小结 | 第70-72页 |
| 第六章 结论、创新及展望 | 第72-75页 |
| 6.1 结论 | 第72-73页 |
| 6.2 创新 | 第73-74页 |
| 6.3 展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 附录A 硕士期间发表论文 | 第82页 |
