| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 锂离子电池概论 | 第11-16页 |
| 1.2.1 锂离子电池工作原理 | 第11-12页 |
| 1.2.2 锂离子电池负极材料的现状与发展 | 第12-13页 |
| 1.2.3 碳基负极材料 | 第13-14页 |
| 1.2.4 金属氧化物负极材料 | 第14-16页 |
| 1.2.4.1 锡的氧化物 | 第15页 |
| 1.2.4.2 铁的氧化物---Fe_3_O_4 | 第15页 |
| 1.2.4.3 过渡金属氧化物---TiO_2 | 第15页 |
| 1.2.4.4 过渡金属氧化物---CuO | 第15-16页 |
| 1.2.4.5 过渡金属氧化物---ZnO | 第16页 |
| 1.3 锂离子电池氧化锌基负极材料概述 | 第16-18页 |
| 1.3.1 氧化锌负极材料的反应机理 | 第16-17页 |
| 1.3.2 氧化锌基负极材料改性研究现状与进展 | 第17-18页 |
| 1.4 氧化锌负极材料制备工艺简介 | 第18-21页 |
| 1.4.1 磁控溅射工艺 | 第18-19页 |
| 1.4.2 电化学沉积工艺 | 第19-20页 |
| 1.4.3 电子束曝光技术辅助制备掩模模板工艺 | 第20-21页 |
| 1.5 本文的研究目的、意义和主要内容 | 第21-23页 |
| 1.5.1 研究目的和意义 | 第21-22页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 电化学沉积工艺制备氧化锌的工艺研究 | 第23-39页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 实验方法 | 第23-25页 |
| 2.3 不同电化学沉积工艺对氧化锌负极材料结构的影响 | 第25-35页 |
| 2.3.1 工作电压（电流密度）对氧化锌生长形貌的影响 | 第28-30页 |
| 2.3.2 溶液温度对制备氧化锌生长形貌的影响 | 第30-32页 |
| 2.3.3 不同面积铜箔对氧化锌生长形貌的影响 | 第32页 |
| 2.3.4 工作电极铜箔表面形貌对氧化锌生长形貌的影响 | 第32-35页 |
| 2.4 电化学沉积制备氧化锌负极材料的电化学性能 | 第35-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 氧化锌石墨层状薄膜负极材料及其性能 | 第39-47页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 实验方法 | 第39-40页 |
| 3.3 不同电化学沉积工艺对氧化锌石墨层状薄膜负极材料的研究 | 第40-46页 |
| 3.3.1 不同电沉积工作电压对氧化锌石墨层状薄膜微观结构的影响 | 第40-42页 |
| 3.3.2 电化学沉积制备氧化锌石墨层状薄膜负极材料的电化学性能 | 第42-46页 |
| 3.3.2.1 不同工作电压下制得氧化锌石墨层状薄膜负极材料的电化学性能 | 第44-45页 |
| 3.3.2.2 不同成分比氧化锌石墨薄膜层状负极材料的电化学性能 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 氧化锌石墨复合粉体负极材料及其性能 | 第47-56页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 实验方法 | 第47-48页 |
| 4.3 不同电化学沉积工艺对氧化锌粉体负极材料的研究 | 第48-55页 |
| 4.3.1 不同电化学沉积工艺对氧化锌石墨粉体微观结构的影响 | 第48-50页 |
| 4.3.2 氧化锌石墨粉体负极材料的电化学性能 | 第50-55页 |
| 4.3.2.1 不同工作电压下制得氧化锌石墨粉体负极材料的电化学性能 | 第52-53页 |
| 4.3.2.2 不同成分比氧化锌石墨粉体负极材料的电化学性能 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 电子束曝光技术辅助制备氧化锌规则阵列的初步研究 | 第56-72页 |
| 5.1 引言 | 第56-57页 |
| 5.2 电子束曝光原理与基本工艺 | 第57-61页 |
| 5.3 电子束曝光技术制备氧化锌阵列的实验工艺路线 | 第61-63页 |
| 5.4 氧化锌阵列的表征和分析 | 第63-70页 |
| 5.4.1 抗蚀剂对制备 ZnO 阵列的影响 | 第63-66页 |
| 5.4.2 电化学沉积工作电压对氧化锌在掩模版中沉积的影响 | 第66-67页 |
| 5.4.3 电化学沉积时间对氧化锌在掩模版中沉积的影响 | 第67-68页 |
| 5.4.4 曝光剂量对氧化锌在掩模版中沉积的影响 | 第68-70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-72页 |
| 全文总结和工作展望 | 第72-75页 |
| 1 全文总结 | 第72-73页 |
| 2 工作展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 附件 | 第82页 |
