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MEMS压阻式压力传感器的DSP数字补偿技术应用研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
第一章 绪论第10-29页
    1.1 课题背景第10-11页
        1.1.1 传感器技术简介第10页
        1.1.2 压力传感器校准与补偿简介第10-11页
    1.2 压阻式压力传感器补偿技术的发展第11-28页
        1.2.1 桥内补偿技术第11-16页
        1.2.2 桥外热敏器件补偿技术第16-20页
        1.2.3 双敏感器件(双桥)补偿技术第20-24页
        1.2.4 DSP数字补偿技术第24-28页
    1.3 研究意义及论文主要内容第28-29页
第二章 静态测量系统的原理第29-40页
    2.1 一般的测量系统第29-30页
        2.1.1 测试系统的作用第29页
        2.1.2 测试系统的构成第29-30页
    2.2 测量系统元件的静特征第30-36页
        2.2.1 系统特性第30-34页
        2.2.2 系统元件的一般形式第34-35页
        2.2.3 单元件的统计特性第35-36页
    2.3 元件静特性的鉴定第36-39页
        2.3.1 标准第36页
        2.3.2 试验测量和估计结果第36-39页
    2.4 本章小结第39-40页
第三章 测试系统的介绍第40-54页
    3.1 系统硬件第40-44页
        3.1.1 敏感元件第40-41页
        3.1.2 信号调试元件第41-42页
        3.1.3 信号处理元件第42-43页
        3.1.4 其它系统硬件第43-44页
    3.2 系统软件第44-47页
        3.2.1 调整增益补偿软件第44页
        3.2.2 数据显示软件第44-46页
        3.2.3 数据处理软件第46-47页
    3.3 系统硬件的连线第47-53页
        3.3.1 DK90308 Evaluation Kit的连线第48-49页
        3.3.2 数据采集卡Ni6211的连线第49-52页
        3.3.3 温控设备的连线第52-53页
    3.4 本章小结第53-54页
第四章 压阻式压力传感器的校准与DSP补偿第54-84页
    4.1 惠斯通电桥式压阻压力传感器第54-57页
        4.1.1 工作原理第54-56页
        4.1.2 压力传感器的重要参数第56-57页
    4.2 传感器的校准第57-64页
        4.2.1 输出特性曲线第58-61页
        4.2.2 不同温度下的输出特性第61-63页
        4.2.3 重复性实验第63-64页
    4.3 增益补偿第64-69页
        4.3.1 增益补偿的目的及原理第64页
        4.3.2 补偿增益实验第64-67页
        4.3.3 实验结果第67-69页
    4.4 改变输出特性曲线的线性度第69-78页
        4.4.1 传统的线性校正第69-70页
        4.4.2 实验原理第70-72页
        4.4.3 曲线化实验第72-77页
        4.4.4 实验结果第77-78页
    4.5 温度的增益与补偿第78-83页
        4.5.1 温度补偿的原理第78-80页
        4.5.2 温度补偿实验第80-82页
        4.5.3 实验结果第82-83页
    4.6 本章小结第83-84页
第五章 总结及展望第84-86页
    5.1 总结第84页
    5.2 展望第84-86页
参考文献第86-90页
攻读硕士学位期间取得的成果第90-91页
致谢第91页

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