| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 压电传感器简介 | 第15-17页 |
| 1.1.1 压电传感器的作用与意义 | 第15-16页 |
| 1.1.2 压电传感器分类与特点 | 第16-17页 |
| 1.2 PVDF-TrFE压电传感器 | 第17-21页 |
| 1.2.1 柔性压电传感器 | 第17-18页 |
| 1.2.2 PVDF-TrFE压电薄膜 | 第18-19页 |
| 1.2.3 PVDF-TrFE压电传感器机理 | 第19-20页 |
| 1.2.4 PVDF-TrFE压电传感器研究现状 | 第20-21页 |
| 1.3 本文的研究方向及研究意义 | 第21-23页 |
| 1.3.1 本文的研究方向 | 第21-22页 |
| 1.3.2 本文的研究意义 | 第22-23页 |
| 第二章 平面/四方柱/三棱柱/金字塔压电结构的ANSYS仿真 | 第23-34页 |
| 2.1 平面/四方柱/三棱柱/金字塔压电结构 | 第23-28页 |
| 2.1.1 四种压电结构设计 | 第23-27页 |
| 2.1.2 压电矩阵/弹性矩阵/介电常数等参数的确定 | 第27-28页 |
| 2.2 四种结构的约束和载荷 | 第28-29页 |
| 2.2.1 四种结构的约束 | 第28-29页 |
| 2.2.2 四种结构的载荷 | 第29页 |
| 2.3 四种结构的压电性能对比 | 第29-32页 |
| 2.3.1 四种结构的应变对比 | 第29-31页 |
| 2.3.2 四方柱结构的输出电压对比 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 PVDF-TrFE金字塔/平面薄膜的制备工艺 | 第34-43页 |
| 3.1 PVDF-TrFE溶液制备 | 第34-35页 |
| 3.1.1 PVDF-TrFE溶液的配备 | 第34-35页 |
| 3.1.2 PVDF-TrFE溶液浓度的选择 | 第35页 |
| 3.2 PVDF-TrFE压电薄膜制备 | 第35-36页 |
| 3.2.1 旋涂法制备压电薄膜 | 第35-36页 |
| 3.2.2 PVDF-TrFE薄膜厚度和转速的关系 | 第36页 |
| 3.2.3 PVDF-TrFE薄膜退火温度的选择 | 第36页 |
| 3.3 金字塔结构的PVDF-TrFE压电薄膜 | 第36-40页 |
| 3.3.1 金字塔薄膜制备 | 第36-39页 |
| 3.3.2 金字塔结构表征 | 第39-40页 |
| 3.4 平面结构和金字塔压电传感器 | 第40-41页 |
| 3.4.1 磁控溅射法镀Al电极 | 第40页 |
| 3.4.2 极化条件探索 | 第40-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 PVDF-TrFE材料及金字塔/平面薄膜压电性能表征 | 第43-54页 |
| 4.1 PVDF-TrFE压电材料表征 | 第43-46页 |
| 4.1.1 压电薄膜结晶表征 | 第43-44页 |
| 4.1.2 PVDF-TrFE薄膜铁电性和压电性表征 | 第44-45页 |
| 4.1.3 PVDF-TrFE聚合物官能团分析 | 第45-46页 |
| 4.2 压电测试系统 | 第46-47页 |
| 4.2.1 测试系统简介 | 第46-47页 |
| 4.2.2 测试参数设置 | 第47页 |
| 4.3 平面结构和金字塔薄膜传感器压电性能对比 | 第47-52页 |
| 4.3.1 未极化平面结构和金字塔结构压电性能对比 | 第47-49页 |
| 4.3.2 极化后平面结构和金字塔结构压电性能对比 | 第49-51页 |
| 4.3.3 金字塔压电薄膜传感器稳定性测试 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 5.1 研究总结 | 第54-55页 |
| 5.2 展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利目录 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
