有机无机双层光波导延迟线研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 光波导延迟线的研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 光延迟线的国内外进展情况 | 第11-16页 |
| 1.2.1 无机材料方面 | 第11-13页 |
| 1.2.2 有机材料方面 | 第13-16页 |
| 1.3 本论文的主要工作 | 第16-18页 |
| 第二章 光波导延迟线相关理论 | 第18-23页 |
| 2.1 光波导器件的有效折射率 | 第18-22页 |
| 2.2 光波导延迟线的原理 | 第22-23页 |
| 第三章 弯曲波导光延迟线器件的制备 | 第23-35页 |
| 3.1 实验设备及材料 | 第23-25页 |
| 3.2 弯曲波导结构光延迟线的制备 | 第25-31页 |
| 3.3 器件封装测试 | 第31-35页 |
| 第四章 NOA 交叉型多通道光波导延迟线 | 第35-43页 |
| 4.1 NOA 成膜性进行表征 | 第35-36页 |
| 4.2 NOA 材料的紫外光写入 | 第36-39页 |
| 4.2.1 光写入工艺步骤 | 第36页 |
| 4.2.2 光写入实验条件摸索 | 第36-39页 |
| 4.3 NOA 纳米压印 | 第39-43页 |
| 第五章 无机光波导延迟线器件的研究 | 第43-50页 |
| 5.1 交叉型延迟线的设计 | 第43-45页 |
| 5.2 光波导延迟线的工艺制备 | 第45-47页 |
| 5.3 测试系统搭建与器件的测试 | 第47-50页 |
| 第六章 开关型有机无机双层光波导延迟线研究 | 第50-52页 |
| 结论 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 作者简介 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |