| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第22-36页 |
| 1.1 论文背景和意义 | 第22-23页 |
| 1.2 产业化晶硅太阳电池 | 第23-32页 |
| 1.2.1 发展概况 | 第23-25页 |
| 1.2.2 存在的问题及解决方案 | 第25-32页 |
| 1.3 论文的主要研究思路及结构安排 | 第32-36页 |
| 2 晶硅太阳电池理论及表征方法 | 第36-74页 |
| 2.1 晶硅太阳电池原理及其制备 | 第36-44页 |
| 2.1.1 晶硅太阳电池基本原理 | 第36-40页 |
| 2.1.2 晶硅太阳电池的光照特性 | 第40-43页 |
| 2.1.3 晶硅太阳电池的制备流程 | 第43-44页 |
| 2.2 晶硅太阳电池效率损失机制 | 第44-56页 |
| 2.2.1 光学损失 | 第44-46页 |
| 2.2.2 电阻损失 | 第46-47页 |
| 2.2.3 复合损失 | 第47-55页 |
| 2.2.4 有效寿命 | 第55-56页 |
| 2.3 晶硅太阳电池表面钝化机制 | 第56-65页 |
| 2.3.1 SiO_2薄膜 | 第57-58页 |
| 2.3.2 SiN_x:H薄膜 | 第58-60页 |
| 2.3.3 SiO_2/SiN_x:H叠层薄膜 | 第60页 |
| 2.3.4 低高结钝化 | 第60-65页 |
| 2.4 晶硅太阳电池表征方法 | 第65-74页 |
| 2.4.1 电化学电容电压测试 | 第66-68页 |
| 2.4.2 准稳态光电导 | 第68-70页 |
| 2.4.3 TLM测量接触电阻 | 第70-71页 |
| 2.4.4 太阳电池电学特性表征 | 第71-74页 |
| 3 金属辅助化学刻蚀法制备黑硅及其性能研究 | 第74-86页 |
| 3.1 引言 | 第74页 |
| 3.2 金属辅助化学刻蚀法制备黑硅反应机理 | 第74-76页 |
| 3.3 黑硅制备和表征 | 第76-84页 |
| 3.3.1 实验流程 | 第76-77页 |
| 3.3.2 银沉积时间对黑硅结构的影响 | 第77-80页 |
| 3.3.3 双氧水浓度对黑硅结构的影响 | 第80-81页 |
| 3.3.4 刻蚀时间对黑硅结构的影响 | 第81-84页 |
| 3.4 本章小结 | 第84-86页 |
| 4 大面积纳米织构黑硅太阳电池的研究 | 第86-108页 |
| 4.1 引言 | 第86-87页 |
| 4.2 黑硅表面形貌修饰 | 第87-96页 |
| 4.2.1 实验流程 | 第87-88页 |
| 4.2.2 KOH修饰对黑硅表面形貌的影响 | 第88-89页 |
| 4.2.3 KOH修饰对黑硅光学特性的影响 | 第89页 |
| 4.2.4 KOH修饰对黑硅复合的影响以及黑硅复合机制分析 | 第89-95页 |
| 4.2.5 KOH修饰对黑硅太阳电池电学性能的影响 | 第95-96页 |
| 4.3 黑硅太阳电池发射极优化 | 第96-102页 |
| 4.3.1 实验流程 | 第97-99页 |
| 4.3.2 发射极优化对黑硅表面形貌的影响 | 第99页 |
| 4.3.3 发射极优化对黑硅复合的影响 | 第99-101页 |
| 4.3.4 发射极优化对黑硅电池电学性能的影响 | 第101-102页 |
| 4.4 黑硅电池钝化研究 | 第102-107页 |
| 4.4.1 实验流程 | 第103-104页 |
| 4.4.2 SiO_2/SiN_x叠层钝化分析 | 第104-105页 |
| 4.4.3 SiO_2/SiN_x叠层钝化对黑硅电池电学性能的影响 | 第105-107页 |
| 4.5 本章小结 | 第107-108页 |
| 5 大面积微/纳多尺寸织构黑硅电池研究 | 第108-120页 |
| 5.1 引言 | 第108页 |
| 5.2 多尺寸表面织构黑硅 | 第108-117页 |
| 5.2.1 实验流程 | 第108-109页 |
| 5.2.2 多尺寸表面织构黑硅表面形貌 | 第109-110页 |
| 5.2.3 多尺寸表面织构黑硅的光学性能 | 第110-112页 |
| 5.2.4 多尺寸表面织构黑硅的复合以及钝化 | 第112-115页 |
| 5.2.5 多尺寸表面织构黑硅太阳电池的电学性能 | 第115-117页 |
| 5.3 本章小结 | 第117-120页 |
| 6 铝扩散发射极背结背接触电池研究 | 第120-166页 |
| 6.1 引言 | 第120页 |
| 6.2 IBC电池设计和制备流程 | 第120-128页 |
| 6.2.1 器件结构 | 第120-122页 |
| 6.2.2 电池制备流程 | 第122-127页 |
| 6.2.3 电池结果与讨论 | 第127-128页 |
| 6.3 p~+发射极制备与分析 | 第128-142页 |
| 6.3.1 Al-p~+发射极制备 | 第128-129页 |
| 6.3.2 Al-p~+发射极复合分析 | 第129-137页 |
| 6.3.3 Al-p~+发射极修饰和钝化 | 第137-138页 |
| 6.3.4 Al-p~+发射极漏电分析 | 第138-140页 |
| 6.3.5 电池结果与讨论 | 第140-142页 |
| 6.4 n~+背表面场制备与分析 | 第142-145页 |
| 6.4.1 高温推进时间对BSF方阻的影响 | 第143页 |
| 6.4.2 印刷磷墨形成BSF质量分析 | 第143-145页 |
| 6.5 前表面高低结钝化 | 第145-154页 |
| 6.5.1 前表面场对电池性能的影响 | 第146-149页 |
| 6.5.2 前表面场对前表面钝化质量的影响 | 第149-153页 |
| 6.5.3 电池结果与讨论 | 第153-154页 |
| 6.6 前表面扩散层的电荷传输作用 | 第154-163页 |
| 6.6.1 IBC电池多数载流子输运 | 第154-155页 |
| 6.6.2 改变Pitch宽度对电池性能的影响 | 第155-159页 |
| 6.6.3 载流子横向传输仿真分析 | 第159-163页 |
| 6.7 本章小结 | 第163-166页 |
| 7 结论与展望 | 第166-170页 |
| 7.1 结论 | 第166-167页 |
| 7.2 创新点 | 第167-168页 |
| 7.3 展望 | 第168-170页 |
| 参考文献 | 第170-182页 |
| 附录A Quokka模拟中用到的参数 | 第182-184页 |
| 攻读博士学位期间科研成果 | 第184-186页 |
| 致谢 | 第186-187页 |
| 作者简介 | 第187页 |
