| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·SSD形成及分类 | 第7-8页 |
| ·SSD及其危害 | 第8-10页 |
| ·激光损伤阈值 | 第8-9页 |
| ·其他危害 | 第9-10页 |
| ·光学表面SSD测量方法介绍 | 第10-13页 |
| ·预测预报法 | 第10-11页 |
| ·全内反射法 | 第11-12页 |
| ·光学相干层析法 | 第12页 |
| ·其他方法 | 第12-13页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第13-14页 |
| 2 SSD共聚焦显微测量的散射机理研究 | 第14-25页 |
| ·激光扫描共聚焦显微系统简介 | 第14-15页 |
| ·经典光散射现象介绍及模拟 | 第15-20页 |
| ·光散射现象分类 | 第16页 |
| ·SSD中气泡的散射现象观察 | 第16-17页 |
| ·光的散射强度计算 | 第17-19页 |
| ·Mie散射现象模拟 | 第19-20页 |
| ·基于共聚焦的SSD散射机理研究 | 第20-23页 |
| ·散射条件假设 | 第20-21页 |
| ·SSD散射具体模型 | 第21-22页 |
| ·SSD散射模型分析 | 第22-23页 |
| ·本章内容小结 | 第23-25页 |
| 3 基于激光共聚焦显微的光学表面SSD测量系统构建 | 第25-44页 |
| ·初步实验系统构建 | 第26-31页 |
| ·光源选择 | 第26-27页 |
| ·光源质量 | 第27-28页 |
| ·其他主要模块及器件的选择 | 第28-30页 |
| ·实验过程中相关实验结论介绍 | 第30-31页 |
| ·一维扫描激光共聚焦显微系统 | 第31-39页 |
| ·大功率短波半导体激光光源 | 第32页 |
| ·显微物镜 | 第32-33页 |
| ·一维定量扫描平台 | 第33-34页 |
| ·共聚焦针孔大小选择及调节 | 第34-37页 |
| ·样品信号尝试性提取 | 第37-39页 |
| ·二维扫描激光共聚焦显微测量系统构建 | 第39-43页 |
| ·扫描方式选择 | 第39-41页 |
| ·系统的主要组成介绍 | 第41-42页 |
| ·控制软件 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 光学表面SSD测量分析 | 第44-54页 |
| ·测试样片制备 | 第44-45页 |
| ·SSD散射信号提取 | 第45-50页 |
| ·干扰信号分析 | 第45-47页 |
| ·SSD散射信号提取 | 第47-50页 |
| ·光学表面SSD的二维定量测量 | 第50-53页 |
| ·测量过程 | 第50-51页 |
| ·二维测量结果的图示化 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 全文总结及工作展望 | 第54-57页 |
| ·全文工作总结 | 第54页 |
| ·今后工作展望 | 第54-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位论文期间发表的论文 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |