| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 文献综述 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第9页 |
| 1.2 多晶硅还原热载体的发展经历 | 第9-11页 |
| 1.2.1 钼丝或钽管 | 第11页 |
| 1.2.2 硅芯 | 第11页 |
| 1.3 硅芯制备工艺 | 第11-17页 |
| 1.3.1 吸管法 | 第11页 |
| 1.3.2 区熔法 | 第11-15页 |
| 1.3.3 线切方硅芯 | 第15-17页 |
| 第2章 方硅芯制备研究 | 第17-33页 |
| 2.1 工艺流程 | 第17页 |
| 2.2 硅芯原料棒的制备 | 第17-18页 |
| 2.3 硅芯原料棒的加工 | 第18-22页 |
| 2.3.1 硅芯切割机 | 第18-20页 |
| 2.3.2 自动磨锥机 | 第20页 |
| 2.3.3 自动粘棒机 | 第20-21页 |
| 2.3.4 磨锥打孔机 | 第21-22页 |
| 2.4 方硅芯的主要技术指标 | 第22-28页 |
| 2.4.1 方硅芯内在质量 | 第22-26页 |
| 2.4.2 外观尺寸 | 第26-28页 |
| 2.5 搭接方式比较 | 第28-29页 |
| 2.6 方硅芯存在的问题和解决办法 | 第29-31页 |
| 2.6.1 氧化 | 第29-30页 |
| 2.6.2 隐裂 | 第30-31页 |
| 2.6.3 杂质浓度 | 第31页 |
| 2.7 小结 | 第31-33页 |
| 第3章 方硅芯对多晶硅沉积速率的影响 | 第33-43页 |
| 3.1 沉积速率的研究意义 | 第33页 |
| 3.2 平均厚度沉积速率 | 第33-35页 |
| 3.3 平均重量沉积速率 | 第35-36页 |
| 3.4 提升还原工艺 | 第36-37页 |
| 3.5 沉积速率与还原炉电耗的关系 | 第37-42页 |
| 3.5.1 厚度沉积速率与还原炉电耗的关系 | 第37-40页 |
| 3.5.2 重量沉积速率与还原炉电耗的关系 | 第40-41页 |
| 3.5.3 重量沉积速率、厚度沉积速率与还原炉电单耗的关系 | 第41-42页 |
| 3.6 小结 | 第42-43页 |
| 第4章 方硅芯与多晶硅还原能耗的影响分析 | 第43-55页 |
| 4.1 多晶硅能耗影响因素 | 第43-44页 |
| 4.2 方硅芯提高多晶硅生产效率 | 第44-47页 |
| 4.2.1 缩短还原炉生长周期 | 第44-46页 |
| 4.2.2 提高生产还原炉的利用率 | 第46-47页 |
| 4.3 方硅芯降低倒炉率 | 第47-50页 |
| 4.4 方硅芯减少配件损耗 | 第50页 |
| 4.5 提高硅芯生产效率 | 第50-52页 |
| 4.6 制造成本比较 | 第52-54页 |
| 4.7 更加容易商品化 | 第54页 |
| 4.8 小结 | 第54-55页 |
| 第5章 结论及展望 | 第55-57页 |
| 5.1 结论 | 第55-56页 |
| 5.2 展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |