摘要 | 第6-9页 |
Abstract | 第9-12页 |
引言 | 第16-17页 |
第一章 绪论 | 第17-38页 |
1.1 不挥发性存储器的分类 | 第17-18页 |
1.2 当前存储器技术的不足 | 第18-25页 |
1.2.1 闪存 | 第18-21页 |
1.2.2 铁电存储器 | 第21-22页 |
1.2.3 相变存储器 | 第22页 |
1.2.4 磁电存储器 | 第22-23页 |
1.2.5 阻变存储器 | 第23-25页 |
1.3 电阻变换效应及其阻变存储器的研究进展 | 第25-37页 |
1.3.1 阻变存储器材料与分类 | 第25-28页 |
1.3.2 电阻变换效应的I-V曲线导电机制 | 第28-29页 |
1.3.3 电阻变换效应的机制 | 第29-36页 |
1.3.4 阻变存储器当前面临的问题 | 第36-37页 |
1.4 本文的研究内容 | 第37-38页 |
第二章 样品制备方法与表征技术 | 第38-45页 |
2.1 样品制备方法 | 第38-41页 |
2.1.1 固相反应法 | 第38-39页 |
2.1.2 脉冲激光沉积技术 | 第39-41页 |
2.1.3 磁控溅射技术 | 第41页 |
2.2 测试表征技术 | 第41-43页 |
2.2.1 结构与形貌表征技术 | 第41-42页 |
2.2.2 电阻变换性能测试流程 | 第42-43页 |
2.3 电阻变换器件的技术参数 | 第43-44页 |
2.4 影响电阻变换性能的主要因素 | 第44-45页 |
第三章 基于高k介质薄膜异质结的电阻变换效应 | 第45-62页 |
3.1 基于Ag/TiO_2/Nb-SrTiO_3异质结的电阻变换效应 | 第45-54页 |
3.1.1 样品制备与表征 | 第46页 |
3.1.2 样品阻变性能与机制分析 | 第46-54页 |
3.2 基于Pt/YSZ/Nb:SrTiO_3异质结的电阻变换效应 | 第54-61页 |
3.2.1 样品制备与表征 | 第55页 |
3.2.2 样品阻变性能与机制分析 | 第55-61页 |
3.3 本章小结 | 第61-62页 |
第四章 基于NiO薄膜异质结的电阻变换效应 | 第62-77页 |
4.1 基于Ag/NiO/Nb:SrTiO_3异质结的电阻变换效应 | 第62-69页 |
4.1.1 样品制备与表征 | 第62-63页 |
4.1.2 样品阻变性能与机制分析 | 第63-69页 |
4.2 基于Ag/SrTiO_3/NiO/NSTO叠层结构的电阻变换效应 | 第69-75页 |
4.2.1 样品制备与表征 | 第70页 |
4.2.2 样品阻变性能与机制分析 | 第70-75页 |
4.3 本章小结 | 第75-77页 |
第五章 基于ZnO薄膜异质结的电阻变换效应 | 第77-102页 |
5.1 CeO_2/ZnO异质结的增强双极性电阻变换特性 | 第77-86页 |
5.1.1 样品制备与表征 | 第78页 |
5.1.2 样品阻变性能与机制分析 | 第78-86页 |
5.2 Mg掺杂改进Zn_(1-x)Mg_xO/Nb:SrTiO_3异质结电阻变换效应 | 第86-94页 |
5.2.1 样品制备与表征 | 第87页 |
5.2.2 样品阻变性能与机制分析 | 第87-94页 |
5.3 Pt/ZnO/BaTiO_3/Nb:SrTiO_3/In异质结的电阻变换效应 | 第94-101页 |
5.3.1 样品制备与表征 | 第95页 |
5.3.2 样品阻变性能与机制分析 | 第95-101页 |
5.4 本章小结 | 第101-102页 |
第六章 基于铁电薄膜异质结的电阻变换效应 | 第102-133页 |
6.1 基于NBFO/Nb:SrTiO_3异质结的电阻变换效应 | 第102-111页 |
6.1.1 样品制备与表征 | 第104页 |
6.1.2 样品阻变性能与机制分析 | 第104-111页 |
6.2 基于Pt/BaTiO_3/Nb:SrTiO_3异质结的电阻变换效应 | 第111-120页 |
6.2.1 样品制备与表征 | 第111-112页 |
6.2.2 样品阻变性能与机制分析 | 第112-120页 |
6.3 LSMO/NBFO/Nb:SrTiO_3多铁隧道结的电阻变换效应 | 第120-127页 |
6.3.1 样品制备与表征 | 第121页 |
6.3.2 样品阻变性能与机制分析 | 第121-127页 |
6.4 铁电NBFO诱导LSMO/Nb:SrTiO_3异质结的电阻变换效应 | 第127-132页 |
6.4.1 样品制备与表征 | 第128页 |
6.4.2 样品阻变性能与机制分析 | 第128-132页 |
6.5 本章小结 | 第132-133页 |
第七章 全文总结 | 第133-136页 |
参考文献 | 第136-154页 |
攻读博士期间发表的论文目录 | 第154-156页 |
致谢 | 第156页 |