微结构阵列超精密加工过程中的形貌测量与误差分析
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-12页 |
| 1.2 超精密面形测量技术的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 面形加工误差定量分析方法的研究现状 | 第14-19页 |
| 1.4 论文研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 基于SPM的在位测量系统设计与实现 | 第20-35页 |
| 2.1 SPM的基本原理 | 第20-21页 |
| 2.2 基于SPM的在位测量系统整体方案 | 第21-23页 |
| 2.3 隧道电流的调理电路设计与实现 | 第23-25页 |
| 2.4 在位螺旋测量的对中方案 | 第25-31页 |
| 2.4.1 对中误差对测量结果的影响 | 第25-27页 |
| 2.4.2 对中工装的结构设计 | 第27-29页 |
| 2.4.3 在位测量系统的对中流程 | 第29-31页 |
| 2.5 测量系统的软件设计与实现 | 第31-34页 |
| 2.5.1 软件模块组成 | 第31-33页 |
| 2.5.2 软件操作流程 | 第33-34页 |
| 2.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 基于商斯曲率特征点加权评估的面形匹配算法 | 第35-44页 |
| 3.1 高斯曲率特征的提取方法 | 第35-40页 |
| 3.1.1 被测面形的数据截取和滤波 | 第36-38页 |
| 3.1.2 高斯曲率特征点的加权描述方法 | 第38-40页 |
| 3.2 面形特征点的空间变换 | 第40-41页 |
| 3.3 基于面形特征点的匹配算法 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 复眼结构的在位测量实验与结果分析 | 第44-63页 |
| 4.1 复眼结构面形测量的难点 | 第44页 |
| 4.2 平面复眼的在位测量实验 | 第44-50页 |
| 4.2.1 实验设计 | 第44-46页 |
| 4.2.2 测量结果 | 第46-50页 |
| 4.3 球面复眼的在位测量实验 | 第50-56页 |
| 4.3.1 实验设计 | 第50-53页 |
| 4.3.2 测量结果 | 第53-56页 |
| 4.4 面形匹配与加工误差分析 | 第56-62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 总结及展望 | 第63-65页 |
| 5.1 总结 | 第63-64页 |
| 5.2 展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
