靶材对激光触发真空开关工作性能的影响研究
| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 论文研究背景概述 | 第7-8页 |
| 1.2 脉冲功率开关技术概述 | 第8-9页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第9-13页 |
| 1.3.1 ETVS国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3.2 LTVS国内外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.4 研究目的及意义 | 第13页 |
| 1.5 本文所做的主要工作和章节安排 | 第13-15页 |
| 2 激光触发真空开关的触发源 | 第15-24页 |
| 2.1 激光等离子体产生机制 | 第15-19页 |
| 2.2 LTVS电弧产生机制 | 第19-20页 |
| 2.3 激光器 | 第20-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 实验系统搭建 | 第24-36页 |
| 3.1 LTVS高压装置 | 第24-28页 |
| 3.2 LTVS触发装置 | 第28-31页 |
| 3.3 数据采集 | 第31-33页 |
| 3.4 实验步骤与实验方案 | 第33-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 LTVS导通特性分析 | 第36-42页 |
| 4.1 靶材与间隙电压 | 第36-38页 |
| 4.2 靶材与激光能量 | 第38-39页 |
| 4.3 混合靶材综合性能 | 第39-40页 |
| 4.4 激光触发真空开关劣化分析 | 第40-41页 |
| 4.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 5 靶材烧蚀分析 | 第42-50页 |
| 5.1 靶材微观结构分析 | 第42-47页 |
| 5.2 靶材溅射分析 | 第47-49页 |
| 5.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 基金 | 第56-58页 |
