| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第13-21页 |
| 1.2.1 微纳米压痕测试技术的国内外研究进展 | 第13-19页 |
| 1.2.2 原位测试技术国内外研究进展 | 第19-21页 |
| 1.3 本文设计参数 | 第21-22页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 原位微纳米压痕测试装置理论和控制方案研究 | 第24-42页 |
| 2.1 微纳米压痕测试技术 | 第24-30页 |
| 2.1.1 微纳米压痕测试理论的发展 | 第24-25页 |
| 2.1.2 Oliver&Pharr 测试理论分析 | 第25-29页 |
| 2.1.3 微纳米压痕测试的基本步骤 | 第29-30页 |
| 2.2 压电驱动技术 | 第30-35页 |
| 2.2.1 压电材料分类简介 | 第30-31页 |
| 2.2.2 压电叠堆原理及构成 | 第31-32页 |
| 2.2.3 压电叠堆特性分析与选型 | 第32-35页 |
| 2.3 柔性铰链 | 第35-38页 |
| 2.3.1 柔性铰链的基本类型 | 第35页 |
| 2.3.2 柔性铰链力学模型和刚度计算 | 第35-38页 |
| 2.4 控制方案设计分析 | 第38-40页 |
| 2.4.1 微纳米压痕测试试验控制方案设计分析 | 第39页 |
| 2.4.2 原位观测控制方案设计分析 | 第39-40页 |
| 2.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第3章 原位观测测试与微纳米压痕测试耦合装置设计分析 | 第42-60页 |
| 3.1 工作原理与结构组成 | 第42-48页 |
| 3.1.1 装置设计分析和结构组成 | 第43-45页 |
| 3.1.2 微纳米压痕测试模块 | 第45-47页 |
| 3.1.3 原位观测测试模块 | 第47-48页 |
| 3.2 关键零部件设计分析 | 第48-51页 |
| 3.3 测试装置动态特性分析与仿真 | 第51-59页 |
| 3.3.1 X 轴位移平台滚珠丝杠轴向动态特性分析 | 第51-56页 |
| 3.3.2 测试装置动态特性仿真分析 | 第56-59页 |
| 3.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 试验分析 | 第60-78页 |
| 4.1 传感器标定试验 | 第60-62页 |
| 4.2 测试结果的影响因素和校准方法 | 第62-65页 |
| 4.2.1 接触零点影响情况分析 | 第62-63页 |
| 4.2.2 压头尖端缺陷影响情况分析 | 第63-64页 |
| 4.2.3 粗糙度影响情况分析 | 第64-65页 |
| 4.3 典型材料的微纳米压痕测试试验 | 第65-71页 |
| 4.3.1 测试装置重复性试验 | 第65-68页 |
| 4.3.2 典型材料的压痕测试试验 | 第68-71页 |
| 4.4 较大压入深度情况下的原位压痕测试试验 | 第71-75页 |
| 4.4.1 T2 紫铜原位测试试验 | 第72-74页 |
| 4.4.2 N6 镍原位测试试验 | 第74-75页 |
| 4.5 本章小结 | 第75-78页 |
| 第5章 总结与展望 | 第78-80页 |
| 5.1 结论 | 第78-79页 |
| 5.2 展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-86页 |
| 作者简介 | 第86页 |
| 在学期间所取得的科研成果 | 第86-88页 |
| 致谢 | 第88页 |
