晶圆传输机器人末端运动及晶圆接触状态检测系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 晶圆传输机器人的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 机器人末端状态检测的研究现状 | 第11-16页 |
| 1.3 课题研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 末端状态检测系统总体设计 | 第18-33页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 晶圆传输机器人运动学建模 | 第18-19页 |
| 2.3 检测系统原理及方案设计 | 第19-25页 |
| 2.3.1 粘滑检测原理 | 第20-22页 |
| 2.3.2 位置检测原理 | 第22-24页 |
| 2.3.3 速度估计原理 | 第24-25页 |
| 2.4 末端执行器结构优化设计 | 第25-28页 |
| 2.4.1 末端执行器的拓扑优化 | 第25-27页 |
| 2.4.2 末端执行器静态刚度与模态分析 | 第27-28页 |
| 2.5 粘滑传感器标定和滑移判定实验 | 第28-32页 |
| 2.5.1 粘滑传感器标定实验 | 第29-30页 |
| 2.5.2 滑移判断检测实验 | 第30-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 基于 PSD 的末端位置检测 | 第33-48页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 二维 PSD 位置检测系统原理分析 | 第33-35页 |
| 3.3 二维 PSD 位置检测系统设计 | 第35-40页 |
| 3.3.1 标准件选型 | 第35-37页 |
| 3.3.2 PSD 相机结构设计 | 第37-39页 |
| 3.3.3 光源选择 | 第39-40页 |
| 3.4 PSD 相机单点测试实验 | 第40-43页 |
| 3.4.1 阶跃响应 | 第40-42页 |
| 3.4.2 重复精度测试 | 第42-43页 |
| 3.5 PSD 相机标定实验 | 第43-47页 |
| 3.5.1 标定系统设计 | 第43-44页 |
| 3.5.2 标定结果及误差分析 | 第44-46页 |
| 3.5.3 误差修正 | 第46-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 基于 KKF 的末端速度估计 | 第48-57页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 多传感器融合原理分析 | 第48-49页 |
| 4.3 末端运动学方程 | 第49-50页 |
| 4.4 运动学卡尔曼滤波算法推导 | 第50-54页 |
| 4.4.1 预测 | 第51-53页 |
| 4.4.2 修正 | 第53-54页 |
| 4.5 晶圆传输机器人 KKF 方程简化 | 第54-55页 |
| 4.6 惯性传感器选型 | 第55-56页 |
| 4.7 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 综合实验研究 | 第57-66页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 典型轨迹规划及运动学仿真 | 第57-59页 |
| 5.3 晶圆接触状态检测实验 | 第59-62页 |
| 5.4 末端位置检测实验 | 第62-64页 |
| 5.5 末端速度估计实验 | 第64-65页 |
| 5.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
