| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题背景与研究发展现状 | 第8-11页 |
| 1.2 T应力理论与界面裂纹问题 | 第11-16页 |
| 1.2.1 应力强度因子与T应力 | 第11-14页 |
| 1.2.2 界面裂纹问题 | 第14-16页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 T应力理论 | 第18-34页 |
| 2.1 T应力原理 | 第18-23页 |
| 2.1.1 数学裂纹尖端的广义幂级数解 | 第18-23页 |
| 2.2 T应力在ABAQUS中计算的基本原理 | 第23-25页 |
| 2.3 T应力对脆性断裂判据的影响 | 第25-33页 |
| 2.3.1 最大周向应力准则 | 第25-26页 |
| 2.3.2 修正最大周向应力准则 | 第26-27页 |
| 2.3.3 应变能密度因子准则 | 第27-31页 |
| 2.3.4 平板斜裂纹算例分析 | 第31-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 应力强度因子和T应力理论计算 | 第34-48页 |
| 3.1 Ⅰ型裂纹应力强度因子及T应力计算 | 第34-38页 |
| 3.1.1 有限元模型建立 | 第34-36页 |
| 3.1.2 不同缝高比对应力强度因子和T应力的影响 | 第36-37页 |
| 3.1.3 不同跨高比对应力强度因子及T应力的影响 | 第37-38页 |
| 3.2 Ⅱ型裂纹应力强度因子和T应力的计算 | 第38-41页 |
| 3.2.1 有限元模型建立 | 第38-39页 |
| 3.2.2 不同缝高比对应力强度因子和T应力影响 | 第39-40页 |
| 3.2.3 不同缝高比对应力强度因子和T应力的影响 | 第40-41页 |
| 3.3 双材料模型层间裂纹应力强度因子和T应力的分析 | 第41-46页 |
| 3.3.1 有限元模型建立 | 第41-42页 |
| 3.3.2 裂纹长度对于应力强度因子及T应力的影响 | 第42-43页 |
| 3.3.3 上下材料厚度比对应力强度因子及T应力的影响 | 第43-45页 |
| 3.3.4 上下层材料弹性模量比对应力强度因子及T应力影响 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-48页 |
| 4 光热微驱动器的热力学分析 | 第48-70页 |
| 4.1 光热微驱动器模型的建立 | 第48-50页 |
| 4.1.1 双材料悬臂梁模型 | 第48-49页 |
| 4.1.2 热力耦合控制方程以及边界条件 | 第49-50页 |
| 4.2 层间裂纹模型数值模拟结果分析 | 第50-56页 |
| 4.2.1 双材料悬臂梁的热力结果分析 | 第50-52页 |
| 4.2.2 裂纹左右端裂尖断裂参数的比较 | 第52-54页 |
| 4.2.3 厚度对于裂尖断裂参数的影响 | 第54-56页 |
| 4.3 界面裂纹模型数值模拟结果分析 | 第56-60页 |
| 4.3.1 双材料悬臂梁的热力结果分析 | 第56-57页 |
| 4.3.2 裂纹左右端裂尖断裂参数的比较 | 第57-59页 |
| 4.3.3 厚度对于裂尖断裂参数的影响 | 第59-60页 |
| 4.4 不同上层材料对双材料悬臂梁热力学分析的影响 | 第60-66页 |
| 4.4.1 双材料悬臂梁的热应力结果分析 | 第60-62页 |
| 4.4.2 裂纹左右端裂尖断裂参数的比较 | 第62-64页 |
| 4.4.3 多晶硅上层材料层间裂纹尖端断裂参数 | 第64-66页 |
| 4.5 不同上层材料悬臂梁裂纹尖端断裂参数 | 第66-67页 |
| 4.6 T应力对断裂判据的影响 | 第67-68页 |
| 4.7 本章小结 | 第68-70页 |
| 5 总结及展望 | 第70-72页 |
| 5.1 结论 | 第70-71页 |
| 5.2 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 附录 | 第78页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表论文的目录 | 第78页 |
