| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·选题背景及意义 | 第8-9页 |
| ·虚拟仪器（Virtual Instrument）的发展及研究现状 | 第9-13页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第13-14页 |
| 第2章 半导体载流子迁移率测试系统的工作原理 | 第14-22页 |
| ·半导体材料和载流子迁移率的概述 | 第14-20页 |
| ·测量迁移率的基本方法 | 第14-18页 |
| ·CELIV | 第18-20页 |
| ·CELIV 准测条件分析 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 半导体载流子迁移率测试系统设计的总体方案 | 第22-25页 |
| ·系统实现的功能 | 第22页 |
| ·系统的设计原则 | 第22-23页 |
| ·系统的整体设计方案 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第4章 半导体载流子迁移率测试系统的硬件设计 | 第25-42页 |
| ·半导体载流子迁移率测试系统的硬件组成 | 第25-26页 |
| ·模块划分 | 第25页 |
| ·工作流程 | 第25-26页 |
| ·系统部分硬件电路设计 | 第26-41页 |
| ·电源设计 | 第26-28页 |
| ·单片机系统设计 | 第28-30页 |
| ·电平转换电路设计 | 第30-31页 |
| ·数模转换电路设计 | 第31-35页 |
| ·滤波器的设计 | 第35-38页 |
| ·数据采集电路设计 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 半导体载流子迁移率测试系统的软件设计 | 第42-63页 |
| ·图形化编辑语言LabVIEW | 第42-48页 |
| ·LabVIEW 概述 | 第42-43页 |
| ·LabVIEW 程序组成 | 第43-45页 |
| ·LabVIEW 编程环境 | 第45-46页 |
| ·LabVIEW 调试技术 | 第46-48页 |
| ·半导体载流子迁移率测试系统的软件总体设计 | 第48-51页 |
| ·软件的总体设计 | 第48页 |
| ·软件设计的程序结构 | 第48-51页 |
| ·测试系统的软件界面及设计流程 | 第51-53页 |
| ·软件界面 | 第51-53页 |
| ·设计流程 | 第53页 |
| ·测试功能模块 | 第53-62页 |
| ·线性增压信号控制模块 | 第53-58页 |
| ·信号采集模块 | 第58-60页 |
| ·滤波模块 | 第60页 |
| ·实时波形显示模块 | 第60-61页 |
| ·数据存储和回放模块 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第6章 半导体载流子迁移率测试系统的调试与实验 | 第63-69页 |
| ·系统的调试 | 第63-65页 |
| ·硬件电路的制作与调试 | 第63-64页 |
| ·软件的调试 | 第64-65页 |
| ·样品测试 | 第65-68页 |
| ·本测试系统对样品结构的要求 | 第65-67页 |
| ·肖特基二极管的测试 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第7章 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·总结 | 第69-70页 |
| ·展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文情况 | 第75-76页 |
| 个人简历 | 第76页 |