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基于柔性衬底的MEMS压电能量收集器件研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
前言第8-10页
第一章 压电能量收集器件的基本原理与发展现状第10-21页
    1.1 压电材料和压电能量收集器件的基本原理第10-12页
    1.2 典型压电能量收集器件原理分析第12-19页
        1.2.1 基于PZT的压电悬臂梁结构第13-15页
        1.2.2 基于ZnO的纳米线结构第15-18页
        1.2.3 基于P(VDF-TrFE)的纳米纤维结构第18-19页
    1.3 本章小结第19-21页
第二章 典型压电能量收集器件的有限元仿真测试第21-36页
    2.1 垂直纳米线阵列发电机(VING)的有限元仿真测试第21-26页
    2.2 压电悬臂梁结构的有限元仿真测试第26-28页
    2.3 基于P(VDF-TrFE)薄膜的压电能量转化器件的瞬态分析第28-35页
    2.4 本章小结第35-36页
第三章 压电能量转换性能测试系统第36-46页
    3.1 压电能量转换性能测试系统的总体设计第36-39页
    3.2 机械控制与驱动系统第39-43页
    3.3 压电能量转换性能测试系统的具体实现第43-45页
    3.4 本章小结第45-46页
第四章 压电能量收集器件第46-59页
    4.1 P(VDF-TrFE)压电能量收集器件的设计与制作第46-50页
    4.2 P(VDF-TrFE)薄膜的物理性质测试第50-53页
        4.2.1 铁电性质测试第50-51页
        4.2.2 X射线衍射XRD分析第51-52页
        4.2.3 傅里叶转换红外线光谱(FTIR)分析第52-53页
    4.3 P(VDF-TrFE)薄膜器件的压电能量转化性能测试第53-58页
    4.4 本章小结第58-59页
第五章 总结与展望第59-61页
参考文献第61-69页
致谢第69-71页

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