| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-28页 |
| 1.1 等离子体概述 | 第10-12页 |
| 1.2 等离子体分类及应用 | 第12-13页 |
| 1.3 低温等离子体的产生及研究现状 | 第13-22页 |
| 1.3.1 电子回旋共振等离子体 | 第13-14页 |
| 1.3.2 螺旋波等离子体 | 第14-15页 |
| 1.3.3 感性耦合等离子体 | 第15-17页 |
| 1.3.4 容性耦合等离子体 | 第17-22页 |
| 1.4 本文的研究内容及意义 | 第22-23页 |
| 参考文献 | 第23-28页 |
| 第二章 电感/电容耦合等离子体产生及诊断系统 | 第28-39页 |
| 2.1 电感/电容耦合等离子体产生装置 | 第28-30页 |
| 2.2 朗缪尔探针结构 | 第30-35页 |
| 2.2.1 郎缪尔探针工作原理 | 第32-35页 |
| 2.3 发射光谱仪组件 | 第35-38页 |
| 2.3.1 发射光谱产生机理 | 第36-38页 |
| 参考文献 | 第38-39页 |
| 第三章 掺氢的电感/电容耦合氮气等离子体特性研究 | 第39-57页 |
| 3.1 单频容性耦合氮气（掺H_2）等离子体特性 | 第39-40页 |
| 3.2 感性耦合氮气（掺H_2）等离子体特性 | 第40-41页 |
| 3.3 双频容性耦合氮气（掺H_2）等离子体特性 | 第41-43页 |
| 3.4 电感/单频电容耦合氮气（掺H_2）等离子体特性 | 第43-47页 |
| 3.5 电感/双频电容耦合氮气（掺H_2）等离子体特性 | 第47-54页 |
| 3.5.1 感性功率对电感/双频电容耦合氮气（掺H_2）等离子体特性的影响 | 第47-51页 |
| 3.5.2 气压对电感/双频电容耦合氮气（掺H_2）等离子体特性的影响 | 第51-54页 |
| 本章小结 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 第四章 掺氢的高频电感/双频电容耦合氮气等离子体特性研究 | 第57-76页 |
| 4.1 双频容性耦合氮气（掺H_2）等离子体放电特性 | 第57-63页 |
| 4.1.1 气压对双频容性耦合氮气（掺H_2）等离子体特性的影响 | 第57-61页 |
| 4.1.2 高频功率对双频容性耦合氮气（掺H_2）等离子体特性的影响 | 第61-62页 |
| 4.1.3 低频功率对双频容性耦合氮气（掺H_2）等离子体特性的影响 | 第62-63页 |
| 4.2 高频（40MHz）电感/双频电容耦合氮气（掺 H_2）等离子体特性 | 第63-73页 |
| 4.2.1 容性低频功率对电感/电容耦合氮气（掺H_2）等离子体特性的影响 | 第63-67页 |
| 4.2.2 容性高频功率对电感/电容耦合氮气（掺H_2）等离子体特性的影响 | 第67-70页 |
| 4.2.3 高频感性功率对电感/电容耦合氮气（掺H_2）等离子体特性的影响 | 第70-73页 |
| 本章小结 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 第五章 掺氩的电感/双频电容耦合N2 等离子体特性研究 | 第76-91页 |
| 5.1 双频容性耦合氮气（掺Ar）等离子体特性 | 第76-77页 |
| 5.2 电感/双频电容耦合氮气（掺Ar）等离子体特性 | 第77-88页 |
| 5.2.1 感性功率对电感/双频电容耦合氮气（掺Ar）等离子体特性的影响 | 第81-84页 |
| 5.2.2 氩气比例对电感/双频电容耦合氮气（掺Ar）等离子体特性的影响 | 第84-88页 |
| 本章小结 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-91页 |
| 结论 | 第91-92页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文及科研成果 | 第92-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
