泡生法大尺寸蓝宝石单晶生长研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 蓝宝石晶体性质 | 第10-12页 |
| 1.2 蓝宝石晶体应用及前景 | 第12-14页 |
| 1.2.1 LED和SOS中衬底材料 | 第12页 |
| 1.2.2 电脑手机等可穿戴电子设备屏幕 | 第12-13页 |
| 1.2.3 其他应用 | 第13-14页 |
| 1.3 蓝宝石晶体生长方法简介 | 第14-18页 |
| 1.3.1 维尔纳叶 | 第14-15页 |
| 1.3.2 热交换法 | 第15-16页 |
| 1.3.3 导模法 | 第16页 |
| 1.3.4 直拉法 | 第16-17页 |
| 1.3.5 泡生法 | 第17-18页 |
| 第2章 晶体缺陷及检测 | 第18-21页 |
| 2.1 开裂 | 第18-19页 |
| 2.2 包裹物 | 第19页 |
| 2.3 晶界 | 第19-20页 |
| 2.4 位错 | 第20-21页 |
| 第3章 晶体生长实验 | 第21-29页 |
| 3.1 实验设备、材料 | 第21-23页 |
| 3.1.1 水电气真空等环境形成 | 第21页 |
| 3.1.2 提拉、旋转和称重等系统 | 第21-23页 |
| 3.1.3 温场 | 第23页 |
| 3.2 实验 | 第23-29页 |
| 3.2.1 清洁与装配 | 第23-24页 |
| 3.2.2 装料 | 第24页 |
| 3.2.3 开启冷却水和真空系统 | 第24-25页 |
| 3.2.4 升温 | 第25页 |
| 3.2.5 引晶 | 第25-27页 |
| 3.2.6 放肩、等径 | 第27页 |
| 3.2.7 收尾 | 第27-28页 |
| 3.2.8 退火 | 第28-29页 |
| 第4章 60kg级蓝宝石单晶 | 第29-37页 |
| 4.1 晶体加工与检测 | 第29-31页 |
| 4.1.1 初步加工 | 第29-30页 |
| 4.1.2 结果 | 第30-31页 |
| 4.2 主要问题 | 第31-34页 |
| 4.2.1 开裂 | 第31-32页 |
| 4.2.2 气泡 | 第32-33页 |
| 4.2.3 下部回熔 | 第33页 |
| 4.2.4 尺寸偏小 | 第33-34页 |
| 4.3 解决方案 | 第34-37页 |
| 第5章 晶体生长模拟 | 第37-45页 |
| 5.1 泡生法晶体生长的数学物理模型 | 第37-39页 |
| 5.2 CGSim简介 | 第39页 |
| 5.3 模拟结果分析 | 第39-42页 |
| 5.3.1 晶体固液面分析 | 第40页 |
| 5.3.2 熔体流动分析 | 第40-42页 |
| 5.4 实验结果 | 第42-45页 |
| 5.4.1 晶体加工 | 第42页 |
| 5.4.2 性能检测 | 第42-45页 |
| 第6章 退火研究 | 第45-49页 |
| 6.1 红外测温 | 第45-46页 |
| 6.2 热电偶测温 | 第46-49页 |
| 第7章 结论与正在进行的工作 | 第49-53页 |
| 7.1 结论 | 第49-50页 |
| 7.2 正在进行的工作 | 第50-53页 |
| 7.2.1 CMOS工业相机 | 第51-52页 |
| 7.2.2 镜头 | 第52页 |
| 7.2.3 实验 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第56页 |
