| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 1 前言 | 第9-23页 |
| 1.1 生物医用材料的发展阶段 | 第9页 |
| 1.2 镁合金作为人体植入材料的优势及存在的问题 | 第9-10页 |
| 1.3 镁合金作为人体植入材料存在问题的解决方法 | 第10页 |
| 1.4 类金刚石膜 | 第10-14页 |
| 1.4.1 类金刚石膜的结构 | 第11页 |
| 1.4.2 类金刚石膜的沉积方法 | 第11-14页 |
| 1.4.2.1 物理沉积 | 第11-14页 |
| 1.4.2.2 化学气相沉积 | 第14页 |
| 1.5 类金刚石膜在各领域的应用 | 第14-17页 |
| 1.5.1 生物医学领域 | 第14-15页 |
| 1.5.2 微电子机械系统领域 | 第15-17页 |
| 1.5.2.1 类金刚石膜作为微电子系统表面材料的应用 | 第16页 |
| 1.5.2.2 类金刚石膜作为微电子系统的结构及应用 | 第16-17页 |
| 1.6 类金刚石膜表征方法简介 | 第17-19页 |
| 1.6.1 扫描电子显微镜 | 第17页 |
| 1.6.2 原子力显微镜 | 第17页 |
| 1.6.3 拉曼光谱 | 第17-18页 |
| 1.6.4 膜厚测试 | 第18页 |
| 1.6.5 硬度和弹性模量测试 | 第18-19页 |
| 1.6.6 膜与基体结合力测试 | 第19页 |
| 1.6.7 静态接触角测试 | 第19页 |
| 1.6.8 耐腐蚀性测试 | 第19页 |
| 1.7 国内外研究现状 | 第19-20页 |
| 1.8 类金刚石膜应用于本课题存在的问题及解决方法 | 第20页 |
| 1.9 本课题主要研究内容和创新之处 | 第20-23页 |
| 2 材料的热处理 | 第23-29页 |
| 2.1 试剂与仪器 | 第23页 |
| 2.2 镁合金淬火实验 | 第23-24页 |
| 2.3 镁合金电化学实验 | 第24-26页 |
| 2.4 镁合金在模拟体液中的腐蚀机理 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 硅作为过渡层元素沉积类金刚石膜的工艺研究 | 第29-39页 |
| 3.1 试剂与仪器 | 第29-30页 |
| 3.2 类金刚石膜的制备 | 第30页 |
| 3.3 选择硅作为过渡层元素的理由 | 第30-31页 |
| 3.4 结果与讨论 | 第31-38页 |
| 3.4.1 拉曼光谱测试 | 第31-33页 |
| 3.4.2 扫描电镜和原子力显微镜测试 | 第33-35页 |
| 3.4.3 膜厚测试 | 第35页 |
| 3.4.4 硬度和弹性模量测试 | 第35-36页 |
| 3.4.5 膜与基体结合力测试 | 第36-37页 |
| 3.4.6 静态接触角和DLC膜耐腐蚀性测试 | 第37-38页 |
| 3.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 钛作为过渡层元素沉积类金刚石膜的工艺研究 | 第39-75页 |
| 4.1 试剂与仪器 | 第39-40页 |
| 4.2 类金刚石膜的制备 | 第40-41页 |
| 4.3 选择钛作为过渡层元素的理由 | 第41-42页 |
| 4.4 结果与讨论 | 第42-73页 |
| 4.4.1 改变过渡层沉积偏压沉积类金刚石膜 | 第42-53页 |
| 4.4.1.1 拉曼光谱测试 | 第42-44页 |
| 4.4.1.2 扫描电镜和原子力测试 | 第44-47页 |
| 4.4.1.3 膜厚测试 | 第47-48页 |
| 4.4.1.4 硬度和弹性模量测试 | 第48-49页 |
| 4.4.1.5 膜与基体结合力测试 | 第49-50页 |
| 4.4.1.6 静态接触角和DLC膜耐腐蚀性测试 | 第50-53页 |
| 4.4.2 改变过渡层钛靶输入电流沉积类金刚石膜 | 第53-63页 |
| 4.4.2.1 拉曼光谱测试 | 第53-55页 |
| 4.4.2.2 扫描电镜和原子力显微镜测试 | 第55-59页 |
| 4.4.2.3 膜厚测试 | 第59-60页 |
| 4.4.2.4 硬度和弹性模量测试 | 第60-61页 |
| 4.4.2.5 膜与基体结合力测试 | 第61-62页 |
| 4.4.2.6 DLC膜耐腐蚀性测试 | 第62-63页 |
| 4.4.3 改变过渡层碳靶功率沉积类金刚石膜 | 第63-73页 |
| 4.4.3.1 拉曼光谱测试 | 第63-65页 |
| 4.4.3.2 扫描电镜和原子力显微镜测试 | 第65-69页 |
| 4.4.3.3 膜厚测试 | 第69-70页 |
| 4.4.3.4 硬度和弹性模量测试 | 第70-71页 |
| 4.4.3.5 膜与基体结合力测试 | 第71-72页 |
| 4.4.3.6 DLC膜耐腐蚀性测试 | 第72-73页 |
| 4.5 本章小结 | 第73-75页 |
| 5 表面沉积DLC膜后性能的对比及生物实验 | 第75-81页 |
| 5.1 腐蚀速率的比较 | 第75-76页 |
| 5.2 腐蚀前后形貌的对比 | 第76-77页 |
| 5.3 静态接触角的对比 | 第77-78页 |
| 5.4 溶血实验 | 第78-80页 |
| 5.4.1 实验材料 | 第79页 |
| 5.4.2 实验方法 | 第79-80页 |
| 5.5 本章小结 | 第80-81页 |
| 6 全文总结与展望 | 第81-83页 |
| 6.1 全文总结 | 第81页 |
| 6.2 展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 致谢 | 第87-89页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第89-91页 |
