| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第18-30页 |
| 1.1 引言 | 第18-19页 |
| 1.2 润滑薄膜的研究现状 | 第19-21页 |
| 1.2.1 薄膜的制备方法 | 第20-21页 |
| 1.3 薄膜的分类 | 第21-25页 |
| 1.3.1 本征硬质薄膜 | 第21页 |
| 1.3.2 纳米结构复合膜 | 第21-23页 |
| 1.3.3 纳米结构多层膜 | 第23-25页 |
| 1.4 设计选择膜层的基本原则 | 第25-27页 |
| 1.5 选题意义与研究内容 | 第27-30页 |
| 1.5.1 选题意义 | 第27页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第27-29页 |
| 1.5.3 拟解决问题 | 第29-30页 |
| 第2章 薄膜的制备及表征方法 | 第30-37页 |
| 2.1 薄膜的制备方法 | 第30-31页 |
| 2.1.1 薄膜的制备原理 | 第30页 |
| 2.1.2 薄膜的制备设备 | 第30-31页 |
| 2.2 镀膜衬底的选取及处理 | 第31页 |
| 2.2.1 衬底材料的选取及加工 | 第31页 |
| 2.2.2 衬底材料的清洗 | 第31页 |
| 2.3 薄膜表征设备 | 第31-37页 |
| 2.3.1 X射线衍射(XRD) | 第31-32页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第32页 |
| 2.3.3 能量色散谱仪(EDS) | 第32页 |
| 2.3.4 X射线光电子能谱仪(XPS) | 第32-33页 |
| 2.3.5 拉曼光谱仪 | 第33页 |
| 2.3.6 透射电子显微镜(TEM) | 第33-34页 |
| 2.3.7 纳米力学综合测试系统 | 第34-35页 |
| 2.3.8 摩擦磨损试验机 | 第35页 |
| 2.3.9 表面轮廓仪 | 第35-36页 |
| 2.3.10 激光共聚焦扫描显微镜 | 第36-37页 |
| 第3章 二元过渡族金属氮化物薄膜微观结构及性能研究 | 第37-57页 |
| 3.1 TiN薄膜微观结构、力学及摩擦磨损性能研究 | 第37-43页 |
| 3.1.1 实验材料及方法 | 第37-39页 |
| 3.1.2 实验结果及讨论 | 第39-43页 |
| 3.1.2.1 TiN薄膜的微观组织、力学及常温摩擦磨损性能 | 第39-41页 |
| 3.1.2.2 TiN薄膜高温摩擦磨损性能 | 第41-43页 |
| 3.2 Mo-N薄膜的制备及性能研究 | 第43-53页 |
| 3.2.1 实验材料及方法 | 第43-44页 |
| 3.2.2 实验结果及讨论 | 第44-53页 |
| 3.2.2.1 氩氮比对Mo-N薄膜微结构的影响 | 第44-45页 |
| 3.2.2.2 氩氮比对Mo-N薄膜力学及室温摩擦磨损性能的影响 | 第45-47页 |
| 3.2.2.3 Mo2N薄膜高温摩擦磨损性能 | 第47-53页 |
| 3.3 Nb-N薄膜的制备及性能研究 | 第53-56页 |
| 3.3.1 实验材料及方法 | 第53页 |
| 3.3.2 Nb-N薄膜微观结构及力学性能 | 第53-55页 |
| 3.3.3 Nb-N薄膜不同环境温度条件下摩擦磨损性能 | 第55-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 Al对氮化物薄膜微观结构和性能的影响 | 第57-88页 |
| 4.1 Al含量对Ti-Al-N薄膜微观组织、力学及摩擦磨损性能的影响 | 第57-65页 |
| 4.1.1 实验方法 | 第58页 |
| 4.1.2 实验结果及讨论 | 第58-65页 |
| 4.1.2.1 Ti-Al-N薄膜的微结构、力学及室温摩擦磨损性能 | 第58-63页 |
| 4.1.2.2 Ti-Al-N薄膜高温摩擦性能 | 第63-65页 |
| 4.2 Al含量对Mo-Al-N薄膜微观组织、力学及摩擦磨损性能的影响 | 第65-80页 |
| 4.2.1 实验方法 | 第66页 |
| 4.2.2 实验结果及讨论 | 第66-80页 |
| 4.2.2.1 Mo-Al-N薄膜的微结构及力学性能 | 第66-71页 |
| 4.2.2.2 Mo-Al-N薄膜抗氧化性能 | 第71-73页 |
| 4.2.2.3 Mo-Al-N薄膜室温摩擦磨损性能 | 第73-79页 |
| 4.2.2.4 Mo-Al-N薄膜高温摩擦磨损性能 | 第79-80页 |
| 4.3 Al含量对Nb-Al-N薄膜微观组织、力学及摩擦磨损性能的影响 | 第80-86页 |
| 4.3.1 实验方法 | 第81页 |
| 4.3.2 试验结果及讨论 | 第81-86页 |
| 4.3.2.1 Nb-Al-N薄膜微观结构及力学性能 | 第81-84页 |
| 4.3.2.2 Nb-Al-N薄膜微室温摩擦磨损性能 | 第84-86页 |
| 4.4 本章小结 | 第86-88页 |
| 第5章 Si对氮化物薄膜微观结构和性能的影响 | 第88-109页 |
| 5.1 Si含量对Ti-Mo-Si-N薄膜微观组织、力学及摩擦磨损性能的影响 | 第88-103页 |
| 5.1.1 实验方法 | 第89-90页 |
| 5.1.2 实验结果及讨论 | 第90-103页 |
| 5.1.2.1 Ti-Mo-Si-N薄膜微观结构 | 第90-93页 |
| 5.1.2.2 Ti-Mo-Si-N薄膜力学性能 | 第93-98页 |
| 5.1.2.3 Ti-Mo-Si-N薄膜室温摩擦磨损性能 | 第98-102页 |
| 5.1.2.4 Ti-Mo-Si-N薄膜高温摩擦磨损性能 | 第102-103页 |
| 5.2 Si含量对Nb-Si-N薄膜微观组织、力学及摩擦磨损性能的影响 | 第103-107页 |
| 5.2.1 实验方法 | 第104页 |
| 5.2.2 实验结果及讨论 | 第104-107页 |
| 5.2.2.1 Nb-Si-N薄膜的微观组织 | 第104-106页 |
| 5.2.2.2 Nb-Si-N薄膜力学及摩擦磨损性能 | 第106-107页 |
| 5.3 本章小结 | 第107-109页 |
| 第6章 Magnéli相元素Mo、V对氮化物薄膜微观结构和性能的影响 | 第109-136页 |
| 6.1 Mo含量对Ti-Mo-N薄膜微观组织、力学及摩擦磨损性能的影响 | 第109-121页 |
| 6.1.1 实验方法 | 第110-111页 |
| 6.1.2 实验结果及讨论 | 第111-121页 |
| 6.1.2.1 Ti-Mo-N薄膜的成份及微观组织 | 第111-114页 |
| 6.1.2.2 Ti-Mo-N薄膜力学及常温摩擦磨损性能 | 第114-117页 |
| 6.1.2.3 Ti-Mo-N薄膜高温摩擦磨损性能 | 第117-121页 |
| 6.2 V含量对Nb-V-Si-N薄膜微观组织、力学及摩擦磨损性能的影响 | 第121-134页 |
| 6.2.1 实验材料及方法 | 第122-123页 |
| 6.2.2 实验结果及讨论 | 第123-134页 |
| 6.2.2.1 Nb-V-Si-N薄膜的微观组织 | 第123-126页 |
| 6.2.2.2 Nb-V-Si-N薄膜的力学及常温摩擦磨损性能 | 第126-132页 |
| 6.2.2.3 Nb-V-Si-N薄膜高温摩擦磨损性能 | 第132-134页 |
| 6.3 本章小结 | 第134-136页 |
| 第7章 Ag对氮化物薄膜微观结构及性能的影响 | 第136-169页 |
| 7.1 Ag含量对TiN-Ag薄膜微观组织、力学及摩擦磨损性能的影响 | 第136-146页 |
| 7.1.1 实验方法 | 第137页 |
| 7.1.2 实验结果及讨论 | 第137-146页 |
| 7.1.2.1 TiN-Ag薄膜的微观结构 | 第137-140页 |
| 7.1.2.2 TiN-Ag薄膜的力学及室温摩擦磨损性能 | 第140-143页 |
| 7.1.2.3 TiN-Ag薄膜的高温摩擦磨损性能 | 第143-146页 |
| 7.2 Ag含量对NbN-Ag薄膜微观组织、力学及摩擦磨损性能的影响 | 第146-161页 |
| 7.2.1 实验方法 | 第147页 |
| 7.2.2 实验结果及讨论 | 第147-161页 |
| 7.2.2.1 NbN-Ag薄膜的微结构 | 第147-152页 |
| 7.2.2.2 NbN-Ag薄膜的力学性能 | 第152-153页 |
| 7.2.2.3 NbN-Ag薄膜的室温摩擦磨损性能 | 第153-159页 |
| 7.2.2.4 NbN-Ag薄膜的高温摩擦磨损性能 | 第159-161页 |
| 7.3 Ag在过渡族金属氮化物中存在形式的研究 | 第161-167页 |
| 7.4 本章小结 | 第167-169页 |
| 第8章 Y对氮化物薄膜微观结构及性能的影响 | 第169-185页 |
| 8.1 Ti-Y-N薄膜微观组织、力学及摩擦磨损性能的研究 | 第169-181页 |
| 8.1.1 实验方法 | 第169-170页 |
| 8.1.2 实验结果及讨论 | 第170-181页 |
| 8.1.2.1 Ti-Y-N薄膜的微观组织 | 第170-175页 |
| 8.1.2.2 Y含量对Ti-Y-N薄膜抗氧化性能的影响 | 第175页 |
| 8.1.2.3 Y含量对Ti-Y-N薄膜力学及摩擦磨损的影响 | 第175-181页 |
| 8.2 Y含量对Nb-Y-N薄膜微观组织、力学及抗氧化性能的影响 | 第181-184页 |
| 8.2.1 实验方法 | 第181-182页 |
| 8.2.2 实验结果及讨论 | 第182-184页 |
| 8.2.2.1 Nb-Y-N薄膜的微观组织 | 第182-183页 |
| 8.2.2.2 Nb-Y-N薄膜的力学性能 | 第183页 |
| 8.2.2.3 Nb-Y-N薄膜的抗氧化性能 | 第183-184页 |
| 8.3 本章小结 | 第184-185页 |
| 结论 | 第185-189页 |
| 参考文献 | 第189-199页 |
| 致谢 | 第199-200页 |
| 攻读博士学位期间所发表的学术论文 | 第200-201页 |
