基于激光干涉仪的微位移测量系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 激光干涉仪的发展历史和现状 | 第11-12页 |
| 1.3 本课题解决的问题 | 第12-13页 |
| 1.4 本文研究的主要内容以及结构安排 | 第13-14页 |
| 第二章 激光干涉仪测长原理 | 第14-30页 |
| 2.1 光的干涉理论 | 第14-21页 |
| 2.1.1 光的叠加 | 第14页 |
| 2.1.2 光波强度合成 | 第14-18页 |
| 2.1.3 光的干涉原理 | 第18-21页 |
| 2.2 基于光的干涉理论的位移测量 | 第21-22页 |
| 2.3 激光的物理性质 | 第22-27页 |
| 2.3.1 激光的空间干涉性 | 第23-24页 |
| 2.3.2 激光的时间干涉性 | 第24-27页 |
| 2.4 激光干涉仪的测长原理 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 激光干涉仪测量环境因素补偿算法 | 第30-36页 |
| 3.1 空气折射率算法比较 | 第30-34页 |
| 3.1.1 埃德林空气折射率算法 | 第30-31页 |
| 3.1.2 改进型埃德林空气折射率算法 | 第31-34页 |
| 3.2 补偿算法的实现 | 第34-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 实验系统硬件平台 | 第36-46页 |
| 4.1 激光干涉仪系统 | 第36-42页 |
| 4.1.1 XL-80型单频激光干涉仪性能指标 | 第37-39页 |
| 4.1.2 激光干涉仪激光源发射器工作原理 | 第39-40页 |
| 4.1.3 光电转换器工作原理 | 第40-41页 |
| 4.1.4 电子细分技术与辨向原理 | 第41-42页 |
| 4.2 微位移平台控制系统 | 第42-45页 |
| 4.2.1 C.300型微位移控制器性能指标 | 第43页 |
| 4.2.2 C.300型微位移控制器系统工作原理 | 第43-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 系统软件设计 | 第46-52页 |
| 5.1 人机界面设计 | 第46-47页 |
| 5.2 主程序设计 | 第47-48页 |
| 5.3 硬件连接程序设计 | 第48页 |
| 5.4 数据保存程序设计 | 第48-50页 |
| 5.5 复位程序设计 | 第50页 |
| 5.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 第六章 实验结果与分析 | 第52-66页 |
| 6.1 实验过程及结果 | 第52-65页 |
| 6.1.1 实验过程 | 第52-53页 |
| 6.1.2 实验结果 | 第53-65页 |
| 6.2 实验误差分析 | 第65页 |
| 6.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 第七章 结论 | 第66-68页 |
| 7.1 课题总结 | 第66页 |
| 7.2 展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 作者简介 | 第72页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
