| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1. 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 蓝宝石材料特性 | 第10-11页 |
| 1.3 蓝宝石材料加工技术国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.4 课题来源与研究内容 | 第15-17页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第15页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第15-17页 |
| 2. 固结金刚石研磨盘研磨单晶蓝宝石性能研究 | 第17-28页 |
| 2.1 固结金刚石研磨盘研磨技术 | 第17-18页 |
| 2.2 固结金刚石研磨盘研磨试验条件和检测方法 | 第18-20页 |
| 2.2.1 试验条件 | 第18页 |
| 2.2.2 检测手段 | 第18-20页 |
| 2.3 固结金刚石研磨盘修整技术 | 第20-21页 |
| 2.4 不同结合剂金刚石研磨盘研磨性能对比试验 | 第21-24页 |
| 2.5 不同磨料粒度金刚石研磨盘研磨性能对比试验 | 第24-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 3. 金刚石研磨盘研磨蓝宝石亚表面层损伤研究 | 第28-40页 |
| 3.1 表面损伤机理 | 第28-30页 |
| 3.2 表面损伤检测试验方案 | 第30-32页 |
| 3.2.1 截面显微法 | 第30-31页 |
| 3.2.2 角度抛光法 | 第31-32页 |
| 3.3 表面损伤试验条件和检测方法 | 第32-34页 |
| 3.4 表面损伤检测结果及分析 | 第34-39页 |
| 3.4.1 腐蚀时间对微裂纹影响 | 第34-36页 |
| 3.4.2 表面微裂纹形状 | 第36-37页 |
| 3.4.3 不同粒度金刚石研磨盘对蓝宝石基片亚表面微裂纹深度影响 | 第37-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 4. 固结磨料机械化学抛光技术研究 | 第40-49页 |
| 4.1 固结磨料机械化学抛光技术机理 | 第40-41页 |
| 4.2 固结磨料机械化学抛光盘研制 | 第41-43页 |
| 4.2.1 磨料的研究 | 第41页 |
| 4.2.2 结合剂的研究 | 第41-42页 |
| 4.2.3 抛光盘组织结构研究 | 第42-43页 |
| 4.3 固结磨料机械化学抛光盘的修整 | 第43-46页 |
| 4.3.1 抛光盘修整方法 | 第43-44页 |
| 4.3.2 抛光盘修整试验 | 第44-46页 |
| 4.4 固结磨料机械化学抛光盘性能试验 | 第46-48页 |
| 4.4.1 试验条件 | 第46-47页 |
| 4.4.2 试验结果与讨论 | 第47-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 5. 蓝宝石高效低损伤加工工艺 | 第49-54页 |
| 5.1 加工工艺方案 | 第49-50页 |
| 5.2 加工工艺实验 | 第50-53页 |
| 5.2.1 试验条件 | 第50-51页 |
| 5.2.2 试验结果讨论 | 第51-53页 |
| 5.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |