| 摘要 | 第7-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 第1章 绪论 | 第14-34页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 压电传感检测技术 | 第15-24页 |
| 1.2.1 压电效应 | 第16页 |
| 1.2.2 压电方程 | 第16-17页 |
| 1.2.3 QCM测量机理 | 第17-19页 |
| 1.2.4 Love波测量机理 | 第19-24页 |
| 1.3 POCT传感器研究进展 | 第24-30页 |
| 1.3.1 POCT技术简介 | 第24页 |
| 1.3.2 QCM微传感器研究进展 | 第24-29页 |
| 1.3.3 Love波传感器研究进展 | 第29-30页 |
| 1.4 课题的研究目的与意义、主要内容及技术路线 | 第30-34页 |
| 1.4.1 课题的提出、目的及意义 | 第30-31页 |
| 1.4.2 研究内容及技术路线 | 第31-34页 |
| 第2章 基于分子键裂原理的QCM微传感器研究 | 第34-62页 |
| 2.1 引言 | 第34页 |
| 2.2 键裂型生物传感器原理 | 第34-35页 |
| 2.3 硬件结构设计 | 第35-56页 |
| 2.3.1 系统总体结构 | 第35-36页 |
| 2.3.2 信号发生模块 | 第36-45页 |
| 2.3.3 QCM阻抗匹配模块 | 第45-51页 |
| 2.3.4 高速信号采集模块 | 第51-54页 |
| 2.3.5 QCM传感器芯片检测装置 | 第54-55页 |
| 2.3.6 小结 | 第55-56页 |
| 2.4 软件结构设计 | 第56-61页 |
| 2.4.1 系统总体控制流程 | 第56-57页 |
| 2.4.2 键裂型传感器软件平台 | 第57-61页 |
| 2.4.3 小结 | 第61页 |
| 2.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第3章 基于分子键裂原理的Love波微传感器仿真 | 第62-86页 |
| 3.1 引言 | 第62页 |
| 3.2 Love波传感器结构设计 | 第62-74页 |
| 3.2.1 器件结构 | 第62-64页 |
| 3.2.2有限元仿真方法 | 第64-68页 |
| 3.2.3 器件材料 | 第68-74页 |
| 3.3 材料结构仿真 | 第74-85页 |
| 3.3.1 仿真结构 | 第74页 |
| 3.3.2 仿真流程 | 第74-76页 |
| 3.3.3 结果及分析 | 第76-85页 |
| 3.4 本章小结 | 第85-86页 |
| 第4章 基于分子键裂原理的Love波微传感器加工与制作 | 第86-109页 |
| 4.1 引言 | 第86页 |
| 4.2 微加工设计与制作 | 第86-103页 |
| 4.2.1 Love波传感器参数 | 第86-89页 |
| 4.2.2 叉指电极电极设计与微加工 | 第89-96页 |
| 4.2.3 SiO_2波导层设计与微加工 | 第96-100页 |
| 4.2.4 Love波传感器芯片检测装置及接口电路设计 | 第100-102页 |
| 4.2.5 小结 | 第102-103页 |
| 4.3 Love波传感器测量系统 | 第103-108页 |
| 4.3.1 网络分析法 | 第103-105页 |
| 4.3.2 测量系统结构 | 第105-106页 |
| 4.3.3 测量结果 | 第106-108页 |
| 4.3.4 小结 | 第108页 |
| 4.4 本章小结 | 第108-109页 |
| 第5章 QCM与Love分子键裂型传感器测量与分析 | 第109-126页 |
| 5.1 引言 | 第109页 |
| 5.2 传感器表征方法 | 第109-112页 |
| 5.2.1 传感器敏感膜与被测物的相互作用 | 第109页 |
| 5.2.2 谐振频率测量方法 | 第109-111页 |
| 5.2.3 键裂实验测试方法 | 第111-112页 |
| 5.3 QCM微传感器测量结果 | 第112-122页 |
| 5.3.1 谐振频率测量结果 | 第112-118页 |
| 5.3.2 键裂实验测试结果 | 第118-121页 |
| 5.3.3小结 | 第121-122页 |
| 5.4 Love波传感器测量结果 | 第122-124页 |
| 5.4.1 谐振频率测量结果 | 第122-124页 |
| 5.4.2 小结 | 第124页 |
| 5.5 本章小结 | 第124-126页 |
| 第6章 结论与展望 | 第126-130页 |
| 6.1 结论 | 第126页 |
| 6.2 展望 | 第126-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |
| 参考文献 | 第131-142页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及科研成果 | 第142-143页 |
