| 摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第13-31页 |
| 1.1 引言 | 第13-16页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 | 第16-29页 |
| 1.2.1 飞秒激光直接烧蚀加工一维微通道 | 第16-19页 |
| 1.2.2 液体辅助飞秒激光烧蚀加工微通道 | 第19-22页 |
| 1.2.3 飞秒激光辐照辅助化学刻蚀加工微通道 | 第22-28页 |
| 1.2.4 飞秒激光改性辅助热处理加工微通道 | 第28-29页 |
| 1.3 本论文主要研究内容和主要创新点 | 第29-31页 |
| 第2章 时间整形飞秒激光在石英玻璃材料内加工微通道 | 第31-61页 |
| 2.1 实验系统设计和搭建 | 第31-35页 |
| 2.2 飞秒激光直接烧蚀加工一维微通道 | 第35-43页 |
| 2.3 时间整形飞秒激光辐照辅助化学刻蚀加工微通道 | 第43-59页 |
| 2.3.1 均匀改性区的刻蚀率增强 | 第49-51页 |
| 2.3.2 纳米光栅改性区的偏振无关性刻蚀 | 第51-59页 |
| 2.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 第3章 时空整形飞秒激光在有机玻璃材料内加工微通道 | 第61-79页 |
| 3.1 飞秒激光直接烧蚀加工一维微通道 | 第61-66页 |
| 3.1.1 空气条件下加工一维微通道 | 第61-63页 |
| 3.1.2 真空条件下加工一维微通道 | 第63-66页 |
| 3.2 时间整形飞秒激光直接烧蚀加工一维微通道 | 第66-69页 |
| 3.3 空间整形飞秒激光加工一维微通道 | 第69-77页 |
| 3.4 本章小结 | 第77-79页 |
| 第4章 时空整形飞秒激光在石英玻璃材料内加工微通道 | 第79-93页 |
| 4.1 时空整形飞秒激光辐照辅助化学刻蚀加工微通道 | 第79-91页 |
| 4.1.1 飞秒激光时空协同整形实验光路设计和搭建 | 第79-82页 |
| 4.1.2 飞秒激光时空协同整形加工微通道 | 第82-91页 |
| 4.2 本章小结 | 第91-93页 |
| 结论 | 第93-97页 |
| 参考文献 | 第97-112页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第112-114页 |
| 致谢 | 第114-115页 |
| 作者简介 | 第115页 |
