| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 1 引言 | 第11-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-17页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 2 电容测微测振原理与测量精度影响因素分析 | 第19-37页 |
| 2.1 测微测振的原理和方法阐述 | 第19-21页 |
| 2.2 系统构成 | 第21-22页 |
| 2.3 测量精度影响因素分析 | 第22-36页 |
| 2.3.1 电容测微测振传感器的边缘效应问题 | 第23-24页 |
| 2.3.2 信号传输电缆的寄生电容分析与消除方法 | 第24-26页 |
| 2.3.3 传感器输出的转换电路及非线性问题的解决方案 | 第26-32页 |
| 2.3.4 信号调理电路影响因素分析 | 第32-34页 |
| 2.3.5 基于锁相环技术的信号解调原理 | 第34-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 3 无缆集成式电容测微测振系统硬件电路设计 | 第37-59页 |
| 3.1 硬件电路系统的组成 | 第37页 |
| 3.2 25kHz限幅正弦波振荡器设计 | 第37-42页 |
| 3.3 微电容测量与转换电路设计 | 第42-44页 |
| 3.4 集成式锁相环与乘法解调电路设计 | 第44-50页 |
| 3.4.1 锁相环电路设计 | 第44-49页 |
| 3.4.2 乘法解调电路设计 | 第49-50页 |
| 3.5 调零电路设计 | 第50-51页 |
| 3.6 基于Cortex-M3的数据采集与通讯电路设计 | 第51-57页 |
| 3.6.1 模数转换电路设计 | 第52-53页 |
| 3.6.2 基于Cortex-M3的控制电路设计 | 第53-56页 |
| 3.6.3 485通讯电路设计 | 第56-57页 |
| 3.7 本章小结 | 第57-59页 |
| 4 系统软件编程与开发 | 第59-73页 |
| 4.1 软件系统总体设计 | 第59-60页 |
| 4.2 数字滤波算法 | 第60-64页 |
| 4.3 基于STM32的数据采集编程与开发 | 第64-67页 |
| 4.3.1 AD转换与STM32F103系列微处理器 | 第64-66页 |
| 4.3.2 串口通讯 | 第66-67页 |
| 4.4 基于485通讯的程序设计与开发 | 第67-71页 |
| 4.4.1 串口通讯软件编程 | 第67-70页 |
| 4.4.2 绘图显示 | 第70-71页 |
| 4.5 本章小结 | 第71-73页 |
| 5 电路板性能测试与实验分析 | 第73-89页 |
| 5.1 电路板性能测试与实验 | 第73-78页 |
| 5.1.1 微电容测量、转换电路板性能测试 | 第73-74页 |
| 5.1.2 调理电路板性能测试 | 第74-75页 |
| 5.1.3 模数转换及数据处理电路板性能测试 | 第75-78页 |
| 5.2 系统时漂实验及分析 | 第78-79页 |
| 5.3 微位移测量实验及分析 | 第79-84页 |
| 5.4 微振动测试实验及分析 | 第84-88页 |
| 5.4.1 微振动测试实验系统的建立 | 第84-85页 |
| 5.4.2 采样频率的选择 | 第85-86页 |
| 5.4.3 微振动基本测试实验 | 第86-88页 |
| 5.5 本章小结 | 第88-89页 |
| 6 总结与展望 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-95页 |
| 作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第95-97页 |
| 项目成果查新报告 | 第97-101页 |
| 学位论文数据集 | 第101页 |
