| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 微流控芯片磁流体力学微泵研究 | 第13-46页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 微流控芯片的发展现状 | 第13-31页 |
| 1.2.1 微流体学 | 第13-17页 |
| 1.2.2 微流控芯片的发展 | 第17-18页 |
| 1.2.3 微流控单元 | 第18-20页 |
| 1.2.4 微流控芯片技术 | 第20-31页 |
| 1.3 微泵的分类现状 | 第31-40页 |
| 1.3.1 机械式微泵 | 第32-36页 |
| 1.3.2 非机械式微泵 | 第36-40页 |
| 1.4 磁流体力学微泵国内外研究现状 | 第40-42页 |
| 1.4.1 磁流体学概述 | 第40页 |
| 1.4.2 磁流体力学微泵的发展 | 第40-42页 |
| 1.5 课题的提出、研究内容和技术路线 | 第42-46页 |
| 1.5.1 课题的提出、目的及意义 | 第42-43页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第43-45页 |
| 1.5.3 技术路线 | 第45-46页 |
| 第二章 磁流体力学微泵数值分析 | 第46-62页 |
| 2.1 引言 | 第46-50页 |
| 2.2 磁流体力学微泵模型构建 | 第50-55页 |
| 2.2.1 几何模型 | 第50-51页 |
| 2.2.2 材料选择 | 第51页 |
| 2.2.3 求解域及边界设定 | 第51-55页 |
| 2.3 磁流体力学微泵数值结果分析 | 第55-61页 |
| 2.3.1 传统磁流体力学微泵数值分析 | 第55页 |
| 2.3.2 平面电磁铁型磁流体力学微泵数值分析 | 第55-61页 |
| 2.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第三章 磁流体力学微泵电磁铁的制作与表征 | 第62-89页 |
| 3.1 引言 | 第62-64页 |
| 3.2 电磁铁设计原理 | 第64-67页 |
| 3.3 线圈结构设计 | 第67-68页 |
| 3.4 线圈材料选择 | 第68-73页 |
| 3.4.1 磁轭结构设计 | 第68-70页 |
| 3.4.2 垂直磁化磁性材料作为磁轭 | 第70-73页 |
| 3.5 电磁铁的加工制作 | 第73-83页 |
| 3.5.1 材料与准备 | 第73-74页 |
| 3.5.2 平面线圈型微结构的加工工艺 | 第74-76页 |
| 3.5.3 电铸镍 | 第76-81页 |
| 3.5.4 Lift-off方法制作CoFeB为磁芯的线圈 | 第81-82页 |
| 3.5.5 线圈制作中的问题与线圈的封装 | 第82-83页 |
| 3.6 电磁铁的表征 | 第83-88页 |
| 3.6.1 磁轭材料磁性能表征 | 第83-87页 |
| 3.6.2 电磁铁性能表征 | 第87-88页 |
| 3.7 本章小结 | 第88-89页 |
| 第四章 磁流体力学微泵的制作与表征 | 第89-104页 |
| 4.1 引言 | 第89页 |
| 4.2 双面加工磁流体力学微泵 | 第89-92页 |
| 4.2.1 掩模板的设计 | 第89-90页 |
| 4.2.2 药品及耗材准备 | 第90页 |
| 4.2.3 实验流程 | 第90-92页 |
| 4.3 磁流体力学微泵中电磁铁对磁性颗粒的控制 | 第92-97页 |
| 4.3.1 磁性颗粒控制基本原理 | 第93-94页 |
| 4.3.2 CoFeB磁轭电磁铁对磁性颗粒的控制 | 第94-97页 |
| 4.4 磁流体力学微泵抽吸能力测试 | 第97-102页 |
| 4.4.1 流速测试准备 | 第97-98页 |
| 4.4.2 测试装置的构建 | 第98-99页 |
| 4.4.3 不同电极电压对磁流体力学微泵流动的影响 | 第99-102页 |
| 4.4.4 微通道内的流速分布 | 第102页 |
| 4.5 本章小结 | 第102-104页 |
| 第五章 磁流体力学微泵与阻抗传感器的集成 | 第104-127页 |
| 5.1 引言 | 第104-109页 |
| 5.2 电极的设计 | 第109-112页 |
| 5.2.1 平面电极设计与加工 | 第110页 |
| 5.2.2 三维电极设计与加工 | 第110-112页 |
| 5.3 三维电极阻抗传感器和平面电极阻抗传感器的制作 | 第112-115页 |
| 5.3.1 三维电极阻抗传感器的制作 | 第112-114页 |
| 5.3.2 平面电极阻抗传感器的制作 | 第114-115页 |
| 5.4 三维电极阻抗传感器表征 | 第115-119页 |
| 5.4.1 SU-8/PDMS键合表征 | 第115-116页 |
| 5.4.2 阻抗传感器电化学阻抗测试 | 第116-119页 |
| 5.5 平面电极型阻抗传感器 | 第119-126页 |
| 5.5.1 细胞的培养 | 第119-121页 |
| 5.5.2 平面电极阻抗传感器电化学阻抗测试 | 第121-126页 |
| 5.6 本章小结 | 第126-127页 |
| 第六章 结论与展望 | 第127-130页 |
| 6.1 结论 | 第127-128页 |
| 6.2 展望 | 第128-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |
| 参考文献 | 第131-141页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及研究成果 | 第141页 |
