| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-32页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·硅基太阳能电池工作原理 | 第15-17页 |
| ·硅基太阳能电池的分类和研究现状 | 第17-22页 |
| ·PERC和PERL太阳能电池 | 第19-20页 |
| ·IBC太阳能电池 | 第20-21页 |
| ·HIT太阳能电池 | 第21页 |
| ·多晶硅太阳能电池 | 第21页 |
| ·硅薄膜太阳能电池 | 第21-22页 |
| ·硅基太阳能电池存在的问题及解决方案 | 第22-30页 |
| ·硅基太阳能电池存在的问题 | 第22-23页 |
| ·解决方案 | 第23-30页 |
| ·本文的研究内容和结构安排 | 第30-32页 |
| ·研究内容 | 第30页 |
| ·结构安排 | 第30-32页 |
| 第二章 纳米线阵列的制备 | 第32-52页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·大面积硅纳米线的制备 | 第32-41页 |
| ·实验材料和设备 | 第32-33页 |
| ·实验流程及表征 | 第33-35页 |
| ·结果与分析 | 第35-41页 |
| ·刻蚀时间对硅纳米线阵列形貌的影响 | 第35-39页 |
| ·刻蚀时间对硅纳米线阵列反射率的影响 | 第39-41页 |
| ·ZnO纳米线阵列的制备 | 第41-50页 |
| ·实验材料和设备 | 第41页 |
| ·ZnO纳米线阵列的制备流程 | 第41-43页 |
| ·结果与分析 | 第43-50页 |
| ·ZnO纳米线阵列的结构 | 第43-45页 |
| ·籽晶层厚度对ZnO纳米线阵列形貌的影响 | 第45-48页 |
| ·生长时间对ZnO纳米线阵列形貌和光学性质的影响 | 第48-50页 |
| ·小结 | 第50-52页 |
| 第三章 硅薄膜等离子体增强化学气相沉积立体生长研究 | 第52-60页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·实验部分 | 第52-53页 |
| ·实验材料和设备 | 第52-53页 |
| ·实验流程及表征 | 第53页 |
| ·结果与分析 | 第53-59页 |
| ·硅薄膜立体生长实验研究 | 第53-56页 |
| ·硅薄膜立体生长机理研究 | 第56-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 第四章 ZnO纳米线阵列的掺杂研究 | 第60-80页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·硼烷等离子体处理对ZnO纳米线阵列性能的影响 | 第60-71页 |
| ·实验材料和设备 | 第60-61页 |
| ·实验流程及表征 | 第61-62页 |
| ·结果与分析 | 第62-71页 |
| ·硼掺杂对ZnO纳米线阵列结构的影响 | 第62-66页 |
| ·硼掺杂对ZnO纳米线组分的影响 | 第66-69页 |
| ·硼掺杂对ZnO纳米线阵列电学性能的影响 | 第69-71页 |
| ·硼掺杂对ZnO的结构、电学和光学性质影响的第一性原理研究 | 第71-79页 |
| ·计算方法与模型构建 | 第71-72页 |
| ·计算结果和分析 | 第72-79页 |
| ·体系优化 | 第72-74页 |
| ·硼掺杂对ZnO的能带和态密度的影响 | 第74-77页 |
| ·硼掺杂对ZnO的光学性质的影响 | 第77-79页 |
| ·小结 | 第79-80页 |
| 第五章 纳米线太阳能电池性能研究 | 第80-112页 |
| ·引言 | 第80-81页 |
| ·硅基纳米线阵列太阳能电池的研究 | 第81-105页 |
| ·实验部分 | 第81-84页 |
| ·实验材料和设备 | 第81-82页 |
| ·实验流程及表征 | 第82-84页 |
| ·结果与分析 | 第84-105页 |
| ·钝化对硅基纳米线阵列太阳能电池性能的影响 | 第84-93页 |
| ·n-Si:H层对硅基纳米线阵列太阳能电池性能的影响 | 第93-100页 |
| ·硅片的厚度对硅基纳米线阵列太阳能电池性能的影响 | 第100-105页 |
| ·ZnO基纳米线阵列太阳能电池的研究 | 第105-110页 |
| ·实验材料和设备 | 第106页 |
| ·实验流程及表征 | 第106-107页 |
| ·结果与分析 | 第107-110页 |
| ·小结 | 第110-112页 |
| 第六章 总结与展望 | 第112-116页 |
| ·本文的主要结论 | 第112-114页 |
| ·本文的主要创新点 | 第114-115页 |
| ·未来工作展望 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-126页 |
| 致谢 | 第126-128页 |
| 博士学位期间成果 | 第128-130页 |
