| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·MEMS技术概述 | 第8-9页 |
| ·纳/微机电系统(N/MEMS)含义及其特点、应用 | 第8页 |
| ·MEMS加工工艺概述 | 第8-9页 |
| ·压电材料与压电特性 | 第9-12页 |
| ·PZT压电材料 | 第9-11页 |
| ·压电效应 | 第11-12页 |
| ·PZT纳米线的研究进展 | 第12-13页 |
| ·压电式能量收集器研究进展 | 第13-18页 |
| ·本论文研究目的及意义 | 第18页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 压电式MEMS传感/能量收集器理论研究 | 第20-25页 |
| ·压电材料理论基础 | 第20-22页 |
| ·压电材料分类及压电参数 | 第20-21页 |
| ·压电方程 | 第21-22页 |
| ·压电式MEMS传感/能量收集器的结构设计 | 第22页 |
| ·压电式MEMS传感/能量收集器的工作原理 | 第22-23页 |
| ·压电式MEMS传感/能量收集器发电机制分析 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 压电式MEMS传感/能量收集器的制作工艺研究 | 第25-41页 |
| ·PZT单晶纳米线的制备及表征测试 | 第25-32页 |
| ·PZT单晶纳米线的制备 | 第25-28页 |
| ·PZT单晶纳米线的表征测试 | 第28-29页 |
| ·PZT单晶纳米线性能研究 | 第29-32页 |
| ·PDMS柔性衬底 | 第32-35页 |
| ·PDMS的结构及性能 | 第32-33页 |
| ·PDMS的制备 | 第33-35页 |
| ·叉指状结构电极的制备 | 第35-36页 |
| ·MEMS传感/能量收集器的制作 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 压电式MEMS传感/能量收集器的机电性能研究 | 第41-50页 |
| ·测试电路 | 第41-42页 |
| ·测试系统 | 第42-44页 |
| ·传感/能量收集器性能测试 | 第44-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 结论 | 第50-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |