| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| ·本论文的研究目的和意义 | 第12-13页 |
| ·共焦显微成像方法研究现状及其发展趋势 | 第13-25页 |
| ·共焦显微成像方法 | 第13-15页 |
| ·非干涉差分共焦显微成像方法 | 第15-16页 |
| ·差动/三差动共焦显微探测方法 | 第16-18页 |
| ·分光瞳共焦/差动共焦 theta 显微成像方法 | 第18-21页 |
| ·彩色共焦显微成像方法 | 第21-23页 |
| ·多光束并行共焦显微成像方法 | 第23-25页 |
| ·现有共焦显微成像方法存在的主要问题 | 第25-26页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 抗反射率实时激光差动共焦显微三维成像理论研究 | 第28-64页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·共焦明场反射显微成像理论 | 第28-34页 |
| ·抗反射率实时激光差动共焦显微三维成像理论 | 第34-43页 |
| ·抗反射率实时激光差动共焦显微成像公式 | 第36-37页 |
| ·抗反射率实时激光差动共焦显微成像性质 | 第37-43页 |
| ·探测器轴向偏移量的优化 | 第43-46页 |
| ·探测器轴向偏移量对光强图像 IA和 IB的影响 | 第43-44页 |
| ·探测器轴向偏移量对轴向响应的影响 | 第44-45页 |
| ·探测器最佳轴向偏移量的确定 | 第45-46页 |
| ·抗反射率实时激光差动共焦显微成像性能分析 | 第46-62页 |
| ·轴向响应特性分析 | 第46-47页 |
| ·横向响应特性分析 | 第47-50页 |
| ·与现有差动共焦技术的分辨力比较 | 第50-52页 |
| ·表面结构离焦对横向响应的影响分析 | 第52-58页 |
| ·反射率抑制性能分析 | 第58-59页 |
| ·噪声抑制性能分析 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第3章 抗反射率实时激光差动共焦显微成像方法研究 | 第64-94页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·抗反射率实时激光差动共焦中的光强显微成像方法 | 第64-69页 |
| ·算数平均值、几何平均值和最小值成像方法 | 第64-67页 |
| ·过零触发成像方法 | 第67-69页 |
| ·抗反射率实时激光差动共焦表面轮廓显微三维成像方法 | 第69-78页 |
| ·薄样品单层扫描成像方法 | 第69-73页 |
| ·厚样品多层扫描成像方法 | 第73-78页 |
| ·激光差动共焦边缘轮廓显微探测方法 | 第78-83页 |
| ·基于超分辨图像复原的微孔孔径测量方法 | 第83-92页 |
| ·本章小结 | 第92-94页 |
| 第4章 抗反射率实时激光差动共焦显微成像关键技术研究 | 第94-118页 |
| ·引言 | 第94页 |
| ·抗反射率实时激光差动共焦显微镜设计装调中的关键技术 | 第94-104页 |
| ·显微镜总体设计 | 第94-98页 |
| ·探测器针孔物理半径的优化 | 第98-102页 |
| ·探测器针孔轴向位置的优化 | 第102-104页 |
| ·抗反射率实时激光差动共焦显微镜测控系统中的关键技术研究 | 第104-110页 |
| ·抗反射率实时激光差动共焦显微镜数据处理中的关键算法研究 | 第110-116页 |
| ·本章小结 | 第116-118页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第118-136页 |
| ·引言 | 第118页 |
| ·显微镜系统性能实验 | 第118-123页 |
| ·系统三维扫描的稳定性测试 | 第118-121页 |
| ·轴向响应特性测试和轴向传感曲线拟合 | 第121-122页 |
| ·轴向传感测量准确性和重复性测试 | 第122-123页 |
| ·抗反射率实时激光差动共焦显微三维成像实验 | 第123-129页 |
| ·测试样品 HS-500MG | 第123-125页 |
| ·三维成像实验 | 第125-129页 |
| ·显微镜校准和不确定度评定 | 第129-133页 |
| ·显微镜在光掩膜版测试中的应用 | 第133-135页 |
| ·本章小结 | 第135-136页 |
| 结论 | 第136-140页 |
| 参考文献 | 第140-152页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第152-154页 |
| 致谢 | 第154-156页 |
| 作者简介 | 第156页 |
