白光干涉光谱测量方法与系统的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·微纳制造技术 | 第8-9页 |
| ·微结构测试 | 第9-13页 |
| ·微结构的几何测试方法 | 第9-10页 |
| ·薄膜参数测量方法 | 第10-13页 |
| ·白光干涉光谱法 | 第13-15页 |
| ·本课题研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 白光光谱法测量原理 | 第16-30页 |
| ·白光干涉特性 | 第16-20页 |
| ·相干长度 | 第17-18页 |
| ·白光干涉信号分析 | 第18-19页 |
| ·白光干涉光谱分析 | 第19-20页 |
| ·相位提取算法 | 第20-23页 |
| ·希尔伯特变换 | 第20页 |
| ·傅立叶变换 | 第20-21页 |
| ·小波变换 | 第21页 |
| ·时间相移 | 第21-23页 |
| ·相位展开 | 第23-24页 |
| ·微结构几何形貌和绝对距离的测量 | 第24-26页 |
| ·白光光谱法测量薄膜厚度 | 第26-30页 |
| ·白光反射光谱法测量薄膜厚度 | 第26-28页 |
| ·白光干涉光谱法测量薄膜厚度 | 第28-30页 |
| 第三章 白光光谱法测量系统构建 | 第30-45页 |
| ·测试系统组成 | 第30-31页 |
| ·显微干涉光学系统 | 第31-38页 |
| ·光源 | 第31-32页 |
| ·光学显微镜 | 第32-33页 |
| ·显微干涉测头 | 第33-36页 |
| ·光纤 | 第36页 |
| ·光谱仪 | 第36-38页 |
| ·机械支撑和运动机构 | 第38-40页 |
| ·机械支撑 | 第38-39页 |
| ·运动机构 | 第39-40页 |
| ·系统软件部分 | 第40-45页 |
| ·Labview 控制界面 | 第40-43页 |
| ·Matlab 数据处理程序 | 第43-45页 |
| 第四章 实验结果与分析 | 第45-69页 |
| ·系统性能测试实验 | 第45-57页 |
| ·系统参数选择 | 第45-50页 |
| ·系统重复性实验 | 第50-52页 |
| ·相位提取算法 | 第52-54页 |
| ·三种计算 Z 值算法的比较 | 第54-55页 |
| ·测量动态范围 | 第55-57页 |
| ·白光干涉光谱法测量台阶结构 | 第57-61页 |
| ·白光反射光谱法测量薄膜实验 | 第61-62页 |
| ·干涉光谱法测量薄膜实验 | 第62-69页 |
| ·薄膜反射相位仿真 | 第62-65页 |
| ·计算薄膜厚度仿真实验 | 第65-66页 |
| ·测量薄膜厚度实验 | 第66-69页 |
| 第五章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
