基于新型音叉探针的动态原子力显微测量系统开发
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·微纳米检测技术 | 第8-9页 |
| ·原子力显微镜及其发展现状 | 第9-14页 |
| ·原子力显微镜的工作模式 | 第9-13页 |
| ·计量型大范围原子力显微镜 | 第13-14页 |
| ·课题的意义及主要工作 | 第14-16页 |
| 第二章 音叉探针工作原理与动态AFM工作模式 | 第16-28页 |
| ·自感应音叉探针 | 第16-22页 |
| ·自感应音叉探针的结构特点 | 第16-17页 |
| ·自感应音叉探针的工作原理 | 第17-19页 |
| ·探针的力学模型 | 第19-20页 |
| ·探针的电学模型 | 第20-22页 |
| ·动态AFM的工作原理 | 第22-27页 |
| ·动态AFM的幅值调制模式 | 第22-24页 |
| ·动态AFM的频率调制模式 | 第24-25页 |
| ·动态AFM的相位调制模式 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 基于新型音叉探针原子力显微测量系统的搭建 | 第28-53页 |
| ·测量系统的硬件组成 | 第28-45页 |
| ·显微观测系统 | 第29-30页 |
| ·自感应测头及信号提取模块 | 第30-37页 |
| ·测量系统的双运动平台结构 | 第37-41页 |
| ·反馈控制模块 | 第41-45页 |
| ·系统的软件组成 | 第45-52页 |
| ·反馈控制的软件系统 | 第45-50页 |
| ·easyPLL控制软件 | 第50-51页 |
| ·NMM控制软件 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 系统性能测试及实验 | 第53-76页 |
| ·测量系统及系统噪声分析测试 | 第53-56页 |
| ·自感应测头性能测试实验 | 第56-64页 |
| ·自感应测头内部微弱电流检测实验 | 第56-57页 |
| ·自感应测头的机械振幅测量实验 | 第57-61页 |
| ·讨论影响测头性能的环境因素 | 第61-64页 |
| ·反馈信号控制器的测试实验 | 第64-68页 |
| ·A/D和D/A的测试 | 第64-66页 |
| ·PI反馈测试 | 第66-68页 |
| ·基于新型音叉探针原子力显微系统的测量实验 | 第68-75页 |
| ·测头传感器的间接标定与自动进针 | 第69-70页 |
| ·频率调制模式下的一维栅格测量实验 | 第70-73页 |
| ·相位调制模式下的一维栅格测量实验 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 总结与展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
