| 内容提要 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 前言 | 第9-21页 |
| ·飞秒激光脉冲整形技术 | 第9-14页 |
| ·飞秒激光简介 | 第9-11页 |
| ·飞秒激光脉冲整形技术简介 | 第11-12页 |
| ·飞秒激光脉冲整形的基本原理 | 第12-14页 |
| ·激光烧蚀技术简介 | 第14-20页 |
| ·激光烧蚀理论介绍 | 第14-17页 |
| ·飞秒激光对金属材料微加工的理论研究 | 第17-18页 |
| ·飞秒激光对金属材料微加工的实验研究 | 第18-20页 |
| ·整形飞秒脉冲在烧蚀和精细加工中的应用 | 第20页 |
| ·本文的框架结构 | 第20-21页 |
| 第二章 实验系统 | 第21-29页 |
| ·飞秒脉冲整形烧蚀系统光路 | 第21-28页 |
| ·激光系统 | 第22-23页 |
| ·空间光调制器（Spatial light modulator,SLM） | 第23-27页 |
| ·4f 整形光路 | 第27-28页 |
| ·真空烧蚀系统光路 | 第28-29页 |
| 第三章 实验结果和讨论 | 第29-70页 |
| ·改变激光焦点与样品相对位置对烧蚀的影响 | 第29-39页 |
| ·空气中改变激光焦点与样品相对位置 | 第29-34页 |
| ·不同激光能量下二极管信号比较 | 第34-37页 |
| ·真空中改变焦点和样品相对位置的比较 | 第37-39页 |
| ·不同能量对烧蚀的影响 | 第39-42页 |
| ·低重复率（<10Hz）和千赫兹激光烧蚀比较 | 第42-44页 |
| ·背景气体对烧蚀的影响 | 第44-47页 |
| ·改变脉冲形状对烧蚀的影响 | 第47-52页 |
| ·较高能量不同整形脉冲作用下的烧蚀结果 | 第48-50页 |
| ·较低能量不同整形脉冲作用下的烧蚀结果 | 第50-52页 |
| ·对金属铜烧蚀的实验研究 | 第52-70页 |
| ·不同激光能量对金属铜烧蚀的影响 | 第53-55页 |
| ·改变样品与焦点的相对位置对烧蚀的影响 | 第55-60页 |
| ·不同形状脉冲对金属铜烧蚀的影响 | 第60-64页 |
| ·不同的气压条件对金属铜烧蚀的影响 | 第64-70页 |
| 第四章 结论与展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 致谢 | 第76页 |